[实用新型]一种石英坩埚质量缺陷检验装置

权利要求书

1.一种石英坩埚质量缺陷检验装置，其特征在于，包括：

用于放置石英坩埚（1）的坩埚支撑架（2）；

用于覆盖在所述石英坩埚（1）上的灯罩密封盖板（3），所述灯罩密封盖板（3）与所述石英坩埚（1）相对的一侧设置有强光灯（4）。

2.根据权利要求1所述的石英坩埚质量缺陷检验装置，其特征在于，所述强光灯（4）具体为能够放出红光的强光灯。

3.根据权利要求2所述的石英坩埚质量缺陷检验装置，其特征在于，所述坩埚支撑架（2）包括支撑底座（21），以及设置在所述支撑底座（21）上，用于支撑所述石英坩埚（1）的支撑臂（22）。

4.根据权利要求3所述的石英坩埚质量缺陷检验装置，其特征在于，所述支撑臂（22）包括分别用于支撑所述石英坩埚（1）底部和侧面的第一支撑臂（221）和第二支撑臂（222）。

5.根据权利要求3或4所述的石英坩埚质量缺陷检验装置，其特征在于，还包括用于带动所述石英坩埚（1）升降的升降传动机构（5）。

6.根据权利要求5所述的石英坩埚质量缺陷检验装置，其特征在于，所述升降传动机构（5）包括：

设置在所述支撑底座（21）上的竖直滑轨（51）；

可滑动的设置在所述竖直滑轨（51）上的滑块（52），所述滑块（52）用于连接所述支撑臂（22）；

用于驱动所述滑块（52）沿所述竖直滑轨（51）滑动的驱动装置。

7.根据权利要求6所述的石英坩埚质量缺陷检验装置，其特征在于，所述驱动装置具体为气缸（53），所述滑块（52）设置在所述气缸（53）活塞杆的输出端，由所述气缸（53）驱动沿竖直方向运动。

8.根据权利要求7所述的石英坩埚质量缺陷检验装置，其特征在于，还包括用于控制所述升降传动机构（5）运动及所述强光灯（4）开启和关闭的自动控制装置。

9.根据权利要求8所述的石英坩埚质量缺陷检验装置，其特征在于，所述自动控制装置包括用于监测所述升降传动机构（5）位置，并输出位置信号的位置传感器（6），以及根据所述位置信号控制所述升降传动机构（5）运动及所述强光灯（4）开启和关闭的控制器。

10.根据权利要求9所述的石英坩埚质量缺陷检验装置，其特征在于，所述位置传感器（6）具体为设置在所述灯罩密封盖板（3）和所述石英坩埚（1）之间的压力传感器，用于在压力升高到最大额定值的情况下控制所述升降传动机构（5）运动停止运动和所述强光灯（4）开启，在压力降低到最大额定值的情况下控制所述强光灯（4）关闭。