[实用新型]变间距电镀槽套件有效
| 申请号： | 201220306380.8 | 申请日： | 2012-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN202688491U | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 孙云飞;王懋;吴东岷 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 间距 电镀 套件 | ||
【权利要求书】：
1.一种变间距电镀槽套件，包括电镀槽箱体、靶材架和样品架，其特征在于：所述的电镀槽箱体上设置有调节靶材架与样品架之间距离的位置标记。
2.根据权利要求1所述的变间距电镀槽套件，其特征在于：所述的位置标记为刻度、凹槽或凸台。
3.根据权利要求1所述的变间距电镀槽套件，其特征在于：所述靶材架设置有与电镀槽箱体位置标记固定配合的第一夹持装置。
4.根据权利要求3所述的变间距电镀槽套件，其特征在于：所述第一夹持装置为偏心夹持装置、螺旋夹持装置或卡槽夹持装置。
5.根据权利要求1所述的变间距电镀槽套件，其特征在于：所述样品架设置有与电镀槽箱体位置标记固定配合的第二夹持装置。
6.根据权利要求5所述的变间距电镀槽套件，其特征在于：所述第二夹持装置为偏心夹持装置、螺旋夹持装置或卡槽夹持装置。
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