[实用新型]基于硅玻键合的上锁紧压力传感器有效
| 申请号： | 201220306401.6 | 申请日： | 2012-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN202676330U | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 段红军;汪超;李瑞清;熊盼;汪文 | 申请（专利权）人： | 上海文襄汽车传感器有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈亮 |
| 地址： | 201619 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 硅玻键合 上锁 压力传感器 | ||
1.一种基于硅玻键合的上锁紧压力传感器，其特征在于，包括电器接口(1)、信号调理电路(2)、传感器底座壳体(3)、转接板(4)、玻璃环(5)、密封件(7)、硅压阻敏感元件(9)、锁紧环(10)、绑线(20)以及信号线(21)；其中
所述硅压阻敏感元件(9)和所述玻璃环(5)通过硅玻键合工艺形成硅压阻敏感芯体；
所述硅压阻敏感芯体、所述密封件(7)、所述锁紧环(10)、所述信号调理电路(2)和所述电器接口(1)安装于所述传感器底座壳体(3)内，所述玻璃环(5)与所述传感器底座壳体(3)之间通过所述密封件(7)密封；
所述绑线(20)的一端与所述硅压阻敏感元件(9)绑定连接，另一端与所述转接板(4)相连接；以及
所述信号调理电路(2)的一端通过所述信号线(21)与所述转接板(4)相连接，另一端通过所述电器接口(1)连接到汽车的控制部分。
2.根据权利要求1所述的上锁紧压力传感器，其特征在于，还包括隔片(8)，安装于所述传感器底座壳体(3)内，位于所述玻璃环(5)与所述锁紧环(10)之间。
3.根据权利要求2所述的上锁紧压力传感器，其特征在于，所述隔片(8)为聚四氟乙烯材料或者金属材料。
4.根据权利要求1所述的上锁紧压力传感器，其特征在于，所述传感器底座壳体(3)和所述锁紧环(10)采用焊接或者螺纹的方式固定连接。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的上锁紧压力传感器，其特征在于，所述玻璃环(5)为Pyrex7740或者GG-17材料。
6.根据权利要求1所述的上锁紧压力传感器，其特征在于，所述密封件(7)为O形或者方形密封胶圈。
7.根据权利要求1所述的上锁紧压力传感器，其特征在于，所述硅压阻敏感元件(9)上设有惠斯顿电桥，所述惠斯顿电桥包括应变电阻，所述应变电阻与所述绑线(20)的一端绑定连接。
8.根据权利要求1或7所述的上锁紧压力传感器，其特征在于，所述绑线(20)为金丝、铝丝或铜丝。
9.根据权利要求1所述的上锁紧压力传感器，其特征在于，所述转接板(4)和信号线(21)采用柔性电路板或者柔性扁平电缆的形式。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的上锁紧压力传感器，其特征在于，所述信号线(21)替换为排针。
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