[实用新型]一种石墨离子枪档板

说明书

技术领域

本实用新型涉及石墨材质在工业生产领域的应用，特别是涉及一种石墨离子枪档板，主要用于石英晶体制造业之氩离子刻蚀式晶振自动频率调整设备的耗材维护。

背景技术

现有技术中，通常采用钼材质离子枪档板在氩离子蚀刻式晶振自动微调机的氩离子枪防护。如图1所示，现有的钼材质离子枪档板为一块长方形挡板，挡板上开有两个圆孔，这种结构的挡板的平均使用寿命只有720小时，而且在进行蚀刻时，挡板上的钼屑与蚀刻下来的银屑会形成结块，从而造成氩离子枪电极之间短路，影响氩离子枪的正常工作。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种石墨离子枪档板，能够防止氩离子枪短路，并且可延长自身的使用寿命。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种石墨离子枪档板，包括挡板主体，所述挡板主体上开有两个圆孔，所述挡板主体采用石墨材料制成，所述挡板主体的前端受轰击面高于挡板主体的上表面，所述挡板主体的后端受轰击面高于挡板主体的下表面。

所述挡板主体的前端受轰击面高于挡板主体的上表面1mm。

所述挡板主体的后端受轰击面高于挡板主体的下表面1mm。

有益效果

由于采用了上述的技术方案，本实用新型与现有技术相比，具有以下的优点和积极效果：本实用新型利用石墨低溅射率、低热膨胀系数、高熔沸点且不易与银屑形成结块的特点，设计出前后受轰击面加厚1mm的石墨材质离子枪档板，满足了晶振频率自动调整设备上对离子枪档板需要耐氩离子轰击、保护氩离子枪稳定工作的要求，有效增强其使用寿命达4320小时，有效杜绝钼屑与银屑形成的结块引起的氩离子枪短路，增强了氩离子枪工作的稳定性。

附图说明

图1是现有技术中钼材质离子枪档板结构示意图；

图2是本实用新型的结构示意图；

图3是图2的俯视图。

具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。

本实用新型的实施方式涉及一种石墨离子枪档板，如图2和图3所示，包括挡板主体1，所述挡板主体1表面开有两个圆孔2，所述挡板主体1采用石墨材料制成，所述挡板主体1的前端受轰击面3高于挡板主体1的上表面，所述挡板主体1的后端受轰击面4高于挡板主体1的下表面。其中，所述挡板主体1的前端受轰击面3高于挡板主体1的上表面1mm。所述挡板主体1的后端受轰击面4高于挡板主体1的下表面1mm。

不难发现，本实用新型利用石墨低溅射率、低热膨胀系数、高熔沸点且不易与银屑形成结块的特点，设计出前后受轰击面加厚1mm的石墨材质离子枪档板，满足了晶振频率自动调整设备上对离子枪档板需要耐氩离子轰击、保护氩离子枪稳定工作的要求，有效增强其使用寿命达4320小时，有效杜绝钼屑与银屑形成的结块引起的氩离子枪短路，增强了氩离子枪工作的稳定性，此技术的关键是利用了石墨材料的优点，附加技术特征是在受轰击面加厚1mm的设计。