[实用新型]高效石墨舟

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是一种高效石墨舟。

背景技术

PECVD是等离子体增强化学气相沉积技术的简称，其原理是利用低温等离子体作能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜。石墨舟是其中的重要部件，直接影响到电场的分布、等离子的产生、气流的走向、膜的品质等。现有的石墨舟由于石墨舟片数量有限，而使得石墨舟的载片量受到限制，生产效率低下。

实用新型内容

为了克服现有的石墨舟载片少，生产效率低的不足，本实用新型提供了一种高效石墨舟。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种高效石墨舟，包括舟体、舟片、支脚、上电极和下电极，舟片设置在舟体内，支脚安装在舟体底部，上电极和下电极分别位于舟体的上部和下部，舟体由基座和副座组合而成。

根据本实用新型的另一个实施例，进一步包括基座为长方体，副座为半圆柱体。

根据本实用新型的另一个实施例，进一步包括副座通过螺丝连接在基座上部，组合成拱形。

本实用新型的有益效果是，将舟体设计成由基座和副座连接而成的组合体，可大大适应沉淀室的结构，充分利用空间，扩大舟体的容量，并可根据需要做出多种组合，从而大大提高生产效率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的结构示意图。

图中1. 舟体，2. 舟片，3. 支脚，4. 上电极，5. 下电极，6. 基座，7. 副座。

具体实施方式

如图1是本实用新型的结构示意图，一种高效石墨舟，包括舟体1、舟片2、支脚3、上电极4和下电极5，舟片2设置在舟体1内，支脚3安装在舟体1底部，上电极4和下电极5分别位于舟体1的上部和下部，舟体1由基座6和副座7组合而成。基座6为长方体，副座7为半圆柱体。副座7通过螺丝连接在基座6上部，组合成拱形。

将舟体1设计成由基座6和副座7连接而成的组合体，可大大适应沉淀室的结构，充分利用空间，扩大舟体1的容量，增加舟片2的数量，并可根据需要做出多种装配组合，从而大大提高生产效率。