[实用新型]蓝宝石表面缺陷测定系统有效
| 申请号： | 201220309927.X | 申请日： | 2012-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN202661411U | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 甄伟;关守平;赵松彬 | 申请（专利权）人： | 丹东新东方晶体仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/20 | 分类号： | G01N23/20 |
| 代理公司： | 沈阳利泰专利商标代理有限公司 21209 | 代理人： | 李枢 |
| 地址： | 118002 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 表面 缺陷 测定 系统 | ||
【权利要求书】：
1.蓝宝石表面缺陷测定系统，包括X射线发生器、闪烁探测器、晶片样品旋转台及计算机控制系统；其特征在于所述的X射线发生器中设置有X射线管和单色器，X射线管的出口射线照射在直立的单色器上，经单色器过滤后的Ka射线照射在晶片样品旋转台上的被测蓝宝石样品晶片上，并在被测晶片中心交于一点。
2.根据权利要求l所述的蓝宝石表面缺陷测定系统，其特征在于所述的X射线发生器中的X射线管为30KV·lmA的铜靶X射线管。
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