[实用新型]基于钛基三层金属膜的石英晶体微天平传感器有效
| 申请号： | 201220313732.2 | 申请日： | 2012-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN202614627U | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 曹忠;龙姝;周婷;龙文斌;徐雷涛;闫璐璐 | 申请（专利权）人： | 长沙理工大学 |
| 主分类号： | G01N5/00 | 分类号： | G01N5/00;G01N11/00;G01N9/04;G01G3/16;G01R27/02;G01R27/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410004 湖南省长沙市雨花区万家*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 三层 金属膜 石英 晶体 天平 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于钛基三层金属膜的石英晶体微天平传感器，该传感器包括一个石英晶体片(1)，所述石英晶体片(1)表面是镀钛膜层(2)，所述镀钛膜层(2)表面是镀银膜层(3)，所述镀银膜层(3)表面是镀金膜层(4)，形成一种基于钛基三层金属膜的石英晶体微天平传感器。
2.根据权利要求1所述的石英晶体微天平传感器，其特征在于所述镀钛膜层(2)厚度为1 ~ 50 nm。
3.根据权利要求1所述的石英晶体微天平传感器，其特征在于所述镀银膜层(3)厚度为20 ~ 200 nm。
4.根据权利要求1所述的石英晶体微天平传感器，其特征在于所述镀金膜层(4)厚度为20 ~ 200 nm。
5.根据权利要求1所述的石英晶体微天平传感器，其特征在于所述石英晶体片(1)的基频为4 ~ 20 MHz。
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