[实用新型]异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态

权利要求书

1.异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态，直线式相对的设置，中间用一自动交换区将相对设置的系统隔离呈两的部份；该异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态依序包含加载区、自动交换区、第一承载室、第一反应室、第二反应室、第二承载室、第三反应室、第四反应室及卸载区。

2.根据权利要求第1项所叙述之异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态，其中该自动交换区设置惰性气体循环系统。

3.根据权利要求第1项所叙述之异质结太阳能电池等离子增强化学气相沉积系统组态，加载区、自动交换区、第一承载室、第一反应室、第二反应室、第二承载室、第三反应室、第四反应室及卸载区，完成第一区域的组态；以此组态可再控展为第二区域。