[实用新型]一种可拆卸式特气孔

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种硅太阳能电池的生产设备，具体涉及一种PECVD沉积腔室可独立更换气孔的装置，即一种可拆卸式特气孔。

背景技术

太阳能作为一种清洁、可再生的能源，对它的利用一直被人们所关注。晶体硅太阳电池作为目前太阳能电池的主流，如何降低太阳能电池的成本，提高效率成为国内外晶体硅太阳能电池研究的重点。PECVD镀膜工序作为电池生产线必不可少的一道工艺环节，优化设备生产方式，节约成本提高产能，显得尤为重要。在传统板式镀膜设备中，特气孔的维护保养周期短、维护繁琐，且维护过程对气孔有损伤的问题，是影响镀膜工艺效果和产线生产能力主要因素之一。

实用新型内容

实用新型目的：本实用新型的目的在于针对现有技术的不足，提供一种能够便于设备维护保养的可拆卸式特气孔，且解决了气孔损伤对工艺的影响问题。

技术方案：本实用新型所述的一种可拆卸式特气孔，其特征在于，包括嵌入部分和外露部分，所述嵌入部分为带有外螺纹的圆柱体，所述外露部分为固定在所述圆柱体一端用于拆卸该可拆卸式特气孔的多边体，该可拆卸式特气孔的两端之间开有贯通的气孔。

为了避免了在工艺过程中上述特气孔边缘沉积氮化硅造成该特气孔拆除困难的问题，该可拆卸式特气孔还包括有与所述多边体相适配的气孔保护罩，所述气孔保护罩的顶面开有与所述气孔相连通的圆孔。

进一步，该可拆卸式特气孔用不锈钢材料制作而成，耐高温，且嵌入设备后气密性良好。

进一步，所述气孔保护罩为中空的多边体。

进一步，所述气孔保护罩用铂锡材料制作而成。

进一步，所述圆孔的直径为气孔直径的2倍，确保在防止氮化硅沉积在独立气孔上的同时，对工艺气体的流动不存在任何影响。。

本实用新型与现有技术相比，其有益效果是：1、本实用新型可解决工艺过程中沉积的氮化硅对工艺气孔堵塞问题，保证工艺的稳定性；2、本实用新型全部采用耐高温材料，适用于所有PECVD设备。3、本实用新型中的独立气孔和气孔保护罩可重复性使用，利于成本控制。4、本实用新型可单独对设备内部每个气孔进行更换，结构简单且操作维护容易。 

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为所述独立气孔保护罩示意图。

具体实施方式

下面对本实用新型技术方案进行详细说明，但是本实用新型的保护范围不局限于所述实施例。

如图1和2所示，一种可拆卸式特气孔，用不锈钢材料制作而成，包括嵌入部分和外露部分，所述嵌入部分为带有外螺纹的圆柱体1，所述圆柱体的高度为0.5cm，所述外露部分为固定在所述圆柱体1一端用于拆卸该可拆卸式特气孔的六边体2，所述六边体2的高为0.5cm，该可拆卸式特气孔的两端之间开有贯通的气孔3，该可拆卸式特气孔还包括有与所述多边体相适配的气孔保护罩，所述气孔保护罩为中空的六边体，所述气孔保护罩用铂锡材料制作而成，所述气孔保护罩的顶面开有与所述气孔3相连通的圆孔4，所述圆孔3的直径为气孔3直径的2倍

上述可拆卸式特气孔的安装过程为：将扭力扳手调到35牛顿力，将嵌入部分拧入设备工艺腔室气体输出孔内，盖上气孔保护罩即可。

维护过程只需将堵塞的可拆卸式特气孔用扳手拧下更换上新的可拆卸式特气孔即可，替换下来的可拆卸式特气孔和气孔保护罩清洗后可重新使用，该可拆卸式特气孔节约了维护时间，有效的降低了成本，避免了原有设备凿通气孔造成的气孔损伤和气孔孔径均匀度下降影响工艺效果等问题。

如上所述，尽管参照特定的优选实施例已经表示和表述了本实用新型，但其不得解释为对本实用新型自身的限制。在不脱离所附权利要求定义的本实用新型的精神和范围前提下，可对其在形式上和细节上作出各种变化。