[实用新型]半导体芯片悬臂封装的定位结构有效
申请号: | 201220315465.2 | 申请日: | 2012-07-02 |
公开(公告)号: | CN202678286U | 公开(公告)日: | 2013-01-16 |
发明(设计)人: | 时文岗;王成亮 | 申请(专利权)人: | 苏州均华精密机械有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/68 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 马明渡 |
地址: | 215101 江苏省苏州市吴中区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 芯片 悬臂 封装 定位 结构 | ||
1.一种半导体芯片悬臂封装的定位结构,包括在竖直方向上间隔设置的上模架(1)和下模架(2),所述上模架(1)和下模架(2)之间设置有上模组和下模组,其特征在于:
所述上模组由上模盒和位于上模盒下方的上模板(3)组成,所述上模板(3)相对于上模架(1)定位设置,上模盒由第一转进板(4)和第二转进板(5)组成,第一转进板(4)和第二转进板(5)均水平布置且相对于上模架(1)在竖直方向上活动设置,所述第一转进板(4)朝向上模板(3)对应于塑封胶体(6)设置有上模顶针(8),第二转进板(5)朝向上模板(3)对应于半导体芯片悬臂(7)设置有上模夹持顶针(9),同时对应于第二转进板(5)设置有第一上下驱动机构(10);
所述下模组由下模盒和位于下模盒上方的下模板(11)组成,所述下模板(11)相对于下模架(2)定位设置,下模盒由第三转进板(12)和第四转进板(13)组成,第三转进板(12)和第四转进板(13)均水平布置且相对于下模架(2)在竖直方向上活动设置,所述第三转进板(12)朝向下模板(11)对应于塑封胶体(6)设置有下模顶针(14),第四转进板(13)朝向下模板(11)对应于半导体芯片悬臂(7)设置有下模夹持顶针(15),同时对应于第四转进板(13)设置有第二上下驱动机构(16)。
2.根据权利要求1所述的定位结构,其特征在于:所述第一转进板(4)和第二转进板(5)在竖直方向上间隔设置,且第一转进板(4)和第二转进板(5)之间通过弹性元件连接。
3.根据权利要求2所述的定位结构,其特征在于:所述弹性元件为弹簧。
4.根据权利要求1所述的定位结构,其特征在于:所述上模板(3)上开设有开口朝下的上模腔,所述上模顶针(8)和上模夹持顶针(9)穿设在上模板(3)中并贯穿至上模腔内;
所述下模板(11)上开设有开口朝上的下模腔, 所述下模顶针(14)和下模夹持顶针(15)穿设在下模板(11)中并贯穿至下模腔内;
所述上模腔和下模腔开口相对,以形成一用于容纳所述半导体芯片的塑封型腔。
5.根据权利要求1所述的定位结构,其特征在于:所述下模架(2)与下模盒之间设置有顶杆(17),下模架(2)相对于该顶杆(17)在竖直方向上活动设置。
6.根据权利要求1和2所述的定位结构,其特征在于:所述上模盒与上模架(1)之间设置有弹簧,当第一转进板(4)位于第二转进板(5)上方时,所述弹簧设置在第一转进板(4)和上模架(1)之间,当第二转进板(5)位于第一转进板(4)上方时,所述弹簧设置在第二转进板(5)和上模架(1)之间。
7.根据权利要求1所述的定位结构,其特征在于:所述上模顶针(8)和下模顶针(14)成对设置;
所述上模夹持顶针(9)和下模夹持顶针(15)成对设置。
8.根据权利要求1所述的定位结构,其特征在于:所述第一上下驱动机构和第二上下驱动机构均采用以下机构之一:
(a)气缸;
(b)油缸;
(c)直线电机;
(d)控制电机与丝杠螺母机构的组合,其中,控制电机为步进电机或伺服电机,控制电机与丝杠传动连接,螺母作为直线驱动机构的作用端。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造