[实用新型]取放报警装置及运输盒的开关装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种取放报警装置及运输盒的开关装置。

背景技术

目前，在半导体工艺车间内，经常会使用光罩，在光罩的使用过程中，经常会用到运输盒的开关装置。

请参阅图1A~1C，其中，图1A所示为现有的运输盒的开关装置的主视示意图，图1B所示为现有的运输盒的开关装置的俯视示意图，图1C所示为现有的运输盒的开关装置的侧视示意图（光罩准备存放时）。现有的运输盒的开关装置，包括：支撑框架1、设置于支撑框架1内的运输盒以及用于将运输盒打开的执行机构（未图示），所述运输盒包括底座2和上盖（未图示），所述底座2上设有后侧挡片3和与所述后侧挡片3相邻的两个侧面挡片4。当需要向运输盒中存入光罩10或者从运输盒中取出光罩10时，执行机构会将整个运输盒从支撑框架1的上部移动到支撑框架1的底部，然后将上盖打开并移走，从而露出运输盒的底座2上的后侧挡片3和两个侧面挡片4。假如是存放光罩操作，操作人员会手动将光罩10水平移动到后侧挡片3和两个侧面挡片4所限定的位置上空，最后，将光罩10竖直移动到后侧挡片3和两个侧面挡片4所限定的范围内。假如是取出光罩10操作，操作人员抓住光罩10并竖直向上移动到后侧挡片3和两个侧面挡片4所限定的位置上空，最后，将光罩10竖直水平移出即可。

但是，在使用中发现，由于光罩10的取放（包括取出和存放）操作时，操作人员不能目测到后侧挡片3，侧面挡片4往往也会忽略，且手动操作很大程度上依赖操作人员的熟练程度和自身的感觉，容易出现误操作。另外，由于光罩10的下表面覆盖有一层起保护作用的薄膜101，这层薄膜101很容易在误操作过程中因碰到后侧挡片3或侧面挡片4而发生毁损，致使光罩10受到损伤或污染，以致严重影响光罩10的后续制程，降低产品良率。

因此，如何提供一种提醒操作人员进行正确的取放工作的取放报警装置及运输盒的开关装置是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种取放报警装置及运输盒的开关装置，可以提醒操作人员进行正确的取放工作，确保光罩或晶圆的安全。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种取放报警装置，用于监控操作人员是否将晶圆或光罩正确取出或存入运输盒的开关装置内，所述运输盒的开关装置包括支撑框架、设置于支撑框架内的运输盒以及用于将运输盒打开的执行机构，所述运输盒包括底座和上盖，所述底座上设有后侧挡片和与所述后侧挡片相邻的两个侧面挡片，所述取放报警装置包括：一用于监控运输盒是否打开的打开状态侦测器、一用于监控晶圆或光罩在取放过程中是否越过后侧挡片所在直线的越位侦测器、一报警器以及一复位按钮，所述复位按钮、打开状态侦测器、越位侦测器以及所述报警器依次连接。

优选的，在上述的取放报警装置中，所述打开状态侦测器是一个具有发射兼接收功能的光传感器或者是一个接触传感器，所述打开状态侦测器置于当运输盒处于打开状态时底座的底部所在的位置的一侧。

优选的，在上述的取放报警装置中，所述打开状态侦测器包括一个具有发射功能的光传感器和一个具有接收功能的光传感器，打开状态侦测器的两个光传感器分别设置于当运输盒处于打开状态时底座所在的位置的两侧。

优选的，在上述的取放报警装置中，所述越位侦测器采用一个具有发射兼接收功能的光传感器，所述越位侦测器设置于当运输盒处于打开状态时底座上的后侧挡片的一侧，所述越位侦测器发出的检测光线与所述后侧挡片所在的直线平行，且所述越位侦测器发出的检测光线紧临所述后侧挡片所在的直线的上方。

优选的，在上述的取放报警装置中，所述越位侦测器包括一个具有发射功能的光传感器和一个具有接收功能的光传感器，越位侦测器的两个光传感器分别设置于当运输盒处于打开状态时底座上的后侧挡片的两侧，两个光传感器之间的检测光线与所述后侧挡片所在的直线平行，且两个光传感器之间的检测光线紧临所述后侧挡片所在的直线的上方。

优选的，在上述的取放报警装置中，还包括至少一个行径路线违规侦测器，当所述行径路线违规侦测器为一个时，所述行径路线违规侦测器与所述越位侦测器并联后的两端分别与所述打开状态侦测器和所述报警器连接；当所述行径路线违规侦测器为两个以上时，各个行径路线违规侦测器与所述越位侦测器并联后的两端分别与所述打开状态侦测器和所述报警器连接。