[实用新型]石英环类产品加工治具

说明书

技术领域

本实用新型涉及石英产品的制造领域，尤其是适用于一种石英环类产品加工治具。

背景技术

石英环类产品属于半导体设备中的必要产品，现有制造技术中，石英环类产品制造时产品需要在加热平台上加热后，在产品和石英定盘上涂上高强度石蜡，使产品和定盘很好吻合粘结；然后使产品和定盘冷却，再用夹具装夹到机床工作台上，加工完成后，在将粘有产品的定盘放置在加热平台上加热使石蜡溶解，并用沸水洗净油脂。由于主要是手工作业过程，所以产品与定盘的吻合程度很难保证，同时电量消耗较大，反复搬运工作量大，粘蜡工作周期也比较长，浪费时间。采用粘蜡的加工方法存在的缺点是：整体效率低，能耗加大，质量不稳定，粘蜡过程会产生产品粘结面的划伤；同时，需要将产品搬来搬去，安全也是一个很大的问题。

发明内容

为了解决现有技术中手工粘蜡操作时存在的整体效率低，能耗大，质量不稳定且粘蜡过程会产生产品粘结面的划伤等问题，本实用新型提供一种产品加工效率高且质量稳定可靠的质量、电能消耗低的石英环类产品加工治具。

本实用新型采用的技术方案是：

石英环类产品加工治具，其特征在于：包括产品吸盘治具、真空吸盘、压块、机床工作台、气管和与所述气管连接的连接头，所述真空吸盘通过所述压块与所述机床工作台连接，所述连接头通过胶体与所述真空吸盘固定连接，所述产品吸盘治具通过石蜡与所述真空吸盘粘结。

进一步，所述产品吸盘治具设有吸气孔；根据不同的产品尺寸进行更换，而在其产品吸盘治具上根据产品结构设置不同形状的吸气孔。

进一步，所述真空吸盘设置吸气回路槽、吸气接头孔和排液孔。

进一步，所述产品吸盘治具上的吸气孔与所述真空吸盘上的吸气回路槽完全配合对齐，以不能有漏气现象为目的。

本实用新型考虑到产品与别的材料接触污染和产品划伤等问题，所述的真空吸盘采用与产品相同的材料石英制成，是整个治具的主体部分，起到定位和气体腔体回路作用。考虑到产品与别的材料接触污染和产品划伤等问题，所述的产品吸盘治具采用与产品相同的材料石英制成，同时，所述的产品吸盘治具根据不同的产品尺寸进行更换，而在其上根据产品结构设置不同形状吸气孔，起到产品定位和产品吸力作用。所述的压块是由不锈钢材料制成的，主要作用是将真空吸盘牢固的固定在机床工作台上。所述的气管和连接头，其作用是连接真空泵和真空吸盘，使其形成回路。

实用新型使用时，将所述气管与所述连接头进行连接，并将连接头用胶体与所述石英材料的真空吸盘进行连接，确认好气密性，将产品吸盘治具用高强度石蜡固定安装到真空吸盘上，并确认好相对位置使吸气孔与吸气槽完全配合对齐，再用压块固定，将产品放入产品吸盘治具上，开启真空泵使其产品吸牢，固定后，尺寸不会在加工过程中再变动，无需调节或测量尺寸，加工完成后，放气直接可以拿下产品。

本实用新型的有益效果体现在：

1、通过采用加工治具操作，解决了加工过程中粘蜡和脱蜡工作；

2、通过采用加工治具产品加工，解决了操作人员粘蜡时造成划伤和粘蜡不牢的问题；

3、通过采用加工治具，解决了质量不稳定的问题；

4、通过采用加工治具，能耗低，成本大大降低。

5、本实用新型具有大大提高产品合格率，降低生产成本，缩短了产品的生产周期，可广泛用于石英环类产品加工的生产线上。

附图说明

图1是本实用新型石英环类产品加工治具的结构示意图。

图2是本实用新型石英环类产品加工治具的截面图。

图3是本实用新型石英环类产品加工治具的真空吸盘结构示意图。

图4是本实用新型石英环类产品加工治具的产品吸盘治具结构示意图。

具体实施方式

参照图1至图4，石英环类产品加工治具，包括产品吸盘治具2、真空吸盘3、压块4、机床工作台5、气管6和与所述气管6连接的连接头7，所述真空吸盘3通过所述压4块与所述机床工作台5连接，所述连接头7通过胶体与所述真空吸盘3固定连接，所述产品吸盘治具2通过石蜡与所述真空吸盘3粘结。

进一步，所述产品吸盘治具2设有吸气孔；根据不同的产品尺寸进行更换，而在其产品吸盘治具2上根据产品结构设置不同形状的吸气孔。

进一步，所述真空吸盘3设置吸气回路槽、吸气接头孔和排液孔。

进一步，所述产品吸盘治具2上的吸气孔与所述真空吸盘3上的吸气回路槽对齐，不能有漏气现象。