[实用新型]石英坩埚气泡膨胀评价装置

权利要求书

1.石英坩埚气泡膨胀评价装置，其特征在于：包括具有双层结构的真空钢包、设在所述真空钢包内的加热炉、维持所述真空钢包内所需压力的配气装置和电气控制系统，所述真空钢包中间的夹层内设有水冷腔，所述夹层底端和前端上侧均设有进水孔，顶端和前端下侧均设有出水孔；所述真空钢包底部设有进气孔，顶部设有出气孔，前端设有将所述真空钢包门与真空钢包腔体密封的法兰，后端与所述配气装置连接；所述加热炉炉体内设有加热元件，炉体上端设有温度计；所述电气控制系统分别与所述温度计和配气装置连接。

2.如权利要求1所述的石英坩埚气泡膨胀评价装置，其特征在于：所述真空钢包顶端还设有用于测试所述真空钢包内压力的压力计。

3.如权利要求1所述的石英坩埚气泡膨胀评价装置，其特征在于：所述真空钢包底端设有万向轮。

4.如权利要求1所述的石英坩埚气泡膨胀评价装置，其特征在于：所述加热元件设在所述加热炉炉体内的四个侧壁上。

5.如权利要求1所述的石英坩埚气泡膨胀评价装置，其特征在于：所述装置还包括检修车，所述检修车设在所述真空钢包内，所述加热炉安装在所述检修车上。