[实用新型]一种铌酸锂衬底有效
| 申请号： | 201220324626.4 | 申请日： | 2012-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN202839724U | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 丁海生;李东昇;马新刚;江忠永;张昊翔;王洋;李超 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰明芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/02 | 分类号： | H01L33/02;H01L33/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铌酸锂 衬底 | ||
【权利要求书】：
1.一种铌酸锂衬底，其特征在于，所述铌酸锂衬底通过生长铌酸锂晶体并采用多光束激光干涉法照射形成。
2.如权利要求1所述的铌酸锂衬底，其特征在于，所述铌酸锂衬底的表面具有周期性变化的折射率，所述周期性变化为一维周期性，或为多维周期性。
3.如权利要求1所述的铌酸锂衬底，其特征在于，所述铌酸锂衬底表面平坦。
4.如权利要求1所述的铌酸锂衬底，其特征在于，所述铌酸锂衬底表面具有图形化的结构。
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