[实用新型]三氟化硼-11电子特气的生产装置有效
申请号: | 201220327007.0 | 申请日: | 2012-07-06 |
公开(公告)号: | CN202898052U | 公开(公告)日: | 2013-04-24 |
发明(设计)人: | 张卫江;徐姣 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | C01B35/06 | 分类号: | C01B35/06 |
代理公司: | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人: | 王丽 |
地址: | 300072 天*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 氟化 11 电子 生产 装置 | ||
1.一种三氟化硼-11电子特气的生产装置,其特征是由合成装置(2)、化学交换塔(3)、裂解装置(5)串联而成;裂解塔顶设置有塔顶冷凝器(4)、塔底设置有加热釜(6);从合成装置中喷流而下的液相,通过泵打至化学交换塔顶,再经泵打至裂解装置塔顶;经裂解装置加热裂解开的气体经过冷凝器,从化学交换塔底部进入,与喷淋而下的液相逆流,发生交换反应,使11B在气相中富集;裂解装置中上升的苯甲醚气体冷凝下来后,先由换热器(7)换热,再经泵打至合成装置塔顶,重新发生合成反应。
2.如权利要求1所述的装置,其特征是在11BF3气体出口连接有吸附装置,吸附装置由一级吸附塔(10)、二级吸附塔(11)、中压精馏塔(12)和低压精馏塔(14)组成;待净化的BF3气体由吸附塔(10)顶部进入,从底部出来后再进入吸附塔(11)顶部,然后再由中压精馏塔(12)底部进入,从中压精馏塔(12)顶部出来后经由中间冷凝器(13),由低压精馏塔(14)中进入,低压精馏塔(14)底部为净化后的高纯BF3产品气。
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