[实用新型]一种基板检测装置

权利要求书

1.一种基板检测装置，其特征在于，包括：用于承载基板的承载台，所述承载台的上侧和下侧其中一侧上设置有包括信号发射端和信号接收端的传感器，所述承载台的上侧和下侧中另一侧上设置有与所述传感器位置相对的信号处理板，以及与所述传感器信号连接的控制系统；其中，所述传感器的信号发射端和信号接收端在同一端面上，并与所述信号处理板的端面互相平行。

2.如权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述传感器和所述信号处理板倾斜设置于承载台的上、下两侧。

3.如权利要求2所述的基板检测装置，其特征在于，所述传感器和所述信号处理板相对于水平面的倾斜角度大于0°小于90°。

4.如权利要求3所述的基板检测装置，其特征在于，所述传感器和信号处理板相对于水平面的倾斜角度为45°。

5.如权利要求1~4所述的基板检测装置，其特征在于，所述传感器为光电传感器，所述信号处理板为用于吸收所述光电传感器发射出的光线信号的吸收板。

6.如权利要求1~4所述的基板检测装置，其特征在于，所述信号发射端和信号接收端为光电传感器，所述信号处理板为用于将所述光电传感器发射出的光线信号反射回所述光电传感器的反射板。

7.如权利要求1~4所述的基板检测装置，其特征在于，所述信号发射端和信号接收端为距离传感器，所述信号处理板为反射板、吸收板。