[实用新型]一种用于检测玻璃基板中缺陷的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种玻璃板或其他透明材料的检测装置，具体涉及一种用于检测玻璃基板中缺陷的装置。

背景技术

在TFT玻璃基板的生产过程中，总是会在玻璃基板表面或玻璃基板内部产生各种类型的缺陷。缺陷可包括表面不连续性、线状缺陷、条纹、结石、气泡以及玻璃基板体的光学不均匀性。

为了防止带有缺陷的玻璃基板进入到高成本运行的后端玻璃冷加工工序，并能够将玻璃基板的缺陷信息及时的反馈给玻璃热端工序控制系统，使得热端工序能够采取适当的措施来减少缺陷。由此可见，对玻璃基板的检测显得十分的重要。

尽管当前通常使用非相干性白光检测玻璃基板缺陷，但由于来自较远距离的小尺寸（点状）光源的光的局部空间相干性，可能会观察到一些衍射效应。由尺寸为R_s的光源射出的在玻璃基板上相隔间距的各个点上光，将具有80％的空间相干性，其中

Lcoh=0.16RλRs---(1)]]>

（参见M.Born和E.wolf的《光学原理》（Principles of optics），剑桥大学出版社，1999，第X章，4.2节），其中R是从光源至玻璃的距离，而λ是平均光波长。当表面干扰尺寸w满足

w≤λL---(2)]]>

时，空间相干性是显著的。由空间相干性造成的衍射会扩散缺陷阴影的锐度，或在一些情形下会放大屏幕上的强度调制。

由于光源和屏幕之间的距离和入射角的变化，检查人员感受到的由点状光源产生并投射到屏幕上的亮度有其固有的不均匀性。为了使检查结果一致性，需要改变由光源发出光的光强度分布，从而使检查人员所感受到的在屏幕检查区内的亮度（由局部照度确定）是均匀的。

专利号为ZL201020189366.5的中国实用新型专利；优先权数据“12/433，2152009.04.30US”；授权公告号：CN201765196U，专利名称“用于检测玻璃板中的缺陷的装置”，公开了一种检测玻璃板中的缺陷的装置。该装置包括发射光束的光源；将所述光束投射在其上的屏幕；以及设置在所述光源和所述屏幕之间以拦截投射到所述屏幕上的光束的光学元件，所述光学元件配置成改变所述光束的至少一部分的光强度并在所述屏幕上形成基本均匀的亮度分布。光学元件具体为可变透射滤光器，其具有至少一个非球形表面。可变透射滤光器虽然能够增加屏幕上的光强分布，使屏幕上得到一个均匀的亮度分布，但其加工使用成本过高，不利于日常的维护与使用。

因此，考虑上述方面，需要设计一种能够加强由点光源产生的亮度分布不均一的装置，使得在对玻璃基板的检测中，能够直观且明显的观察到玻璃基板中存在的缺陷。

实用新型内容

本实用新型目的在于提供一种用于检测玻璃基板中缺陷的装置，以防止带有缺陷的玻璃基板进入高成本运行的后端玻璃冷加工工序。

为实现上述目的，本实用新型采用如下的技术方案：

一种用于检测玻璃基板中缺陷的装置，包括点光源，待检测的玻璃基板，屏幕，线性光源，所述玻璃基板位于点光源和屏幕之间，线性光源位于玻璃基板的两侧。

本实用新型进一步的改进在于，所述用于检测玻璃基板中缺陷的装置还包括支撑底座，设置于支撑底座上的位置调节装置，设置于位置调节装置上的安装框架和设置于安装框架上的挡板；线性光源（10）安装于安装框架（11）上。

本实用新型进一步的改进在于，位置调节装置包括调整手轮、调整支架和导轨；其中导轨设置于支撑底座上，调整支架设置在导轨上，调整手轮设置在调整支架下端。