[实用新型]具有双配料系统的单晶硅石英坩埚生产用表面喷涂设备有效

专利信息
申请号: 201220329575.4 申请日: 2012-07-09
公开(公告)号: CN202671424U 公开(公告)日: 2013-01-16
发明(设计)人: 南志坚 申请(专利权)人: 西安盛晶坩埚制造有限公司
主分类号: C03C17/22 分类号: C03C17/22
代理公司: 西安创知专利事务所 61213 代理人: 谭文琰
地址: 710100 陕西省西安市长*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 具有 配料 系统 单晶硅 石英 坩埚 生产 表面 喷涂 设备
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及一种喷涂设备,尤其是涉及一种具有双配料系统的单晶硅石英坩埚生产用表面喷涂设备。

背景技术

单晶硅石英坩埚是拉制太阳能单晶硅棒的必用容器,为了阻止单晶硅石英坩埚内壁与熔化硅液发生反应影响正常拉晶,采用在石英坩埚内表面均匀喷涂一层氢氧化钡溶液。根据使用该种溶液的工艺要求,需要定量配置溶液,配置好的溶液要在一定的温度下搅拌循环4个小时以上,充分混合均匀才能使用,且必须限时使用,长期使用会失效,造成浪费。现有的喷涂设备,只有一套配料系统,溶液使用完后需要待机重新配制溶液,不能连续生产,造成停工,影响生产进度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述现有技术中的不足,提供一种具有双配料系统的单晶硅石英坩埚生产用表面喷涂设备,其结构简单、设计合理且使用效果好,双配料系统的设置使得喷涂设备可以连续工作,提高了工作效率。

为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种具有双配料系统的单晶硅石英坩埚生产用表面喷涂设备,包括支架和安装在支架上的第一配料系统,所述第一配料系统包括通过管道依次相接的第一药箱、第一阀门、药水电磁阀、三通接头和喷嘴,以及通过管道依次相接的纯水箱、第三阀门和纯水电磁阀;所述第一药箱和纯水箱均设置在支架的顶部,所述纯水电磁阀通过管道与三通接头相接,所述喷嘴通过第一管道连接二氧化碳气源,所述第一管道上安装有二氧化碳电磁阀;连接所述第一阀门和药水电磁阀的管道与连接第三阀门和纯水电磁阀的管道之间设置有第二管道,所述第二管道上安装有氮气电磁阀,所述氮气电磁阀通过管道连接氮气气源;其特征在于:所述支架上安装有第二配料系统,所述第二配料系统包括通过管道相接的第二药箱和第二阀门,所述第二阀门通过管道与连接第一阀门和药水电磁阀的管道相接。

上述的具有双配料系统的单晶硅石英坩埚生产用表面喷涂设备,其特征在于:所述第二药箱设置在支架的顶部。

上述的具有双配料系统的单晶硅石英坩埚生产用表面喷涂设备,其特征在于:所述第一药箱和第二药箱的内部均安装有加热管。

上述的具有双配料系统的单晶硅石英坩埚生产用表面喷涂设备,其特征在于:所述支架的中部安装有通过压缩空气管道与压缩空气气源连接且用于将第一药箱内部的溶液进行循环的第一隔膜泵,连接所述压缩空气气源和第一隔膜泵的压缩空气管道上安装有第一过滤调压阀。

上述的具有双配料系统的单晶硅石英坩埚生产用表面喷涂设备,其特征在于:所述支架的中部安装有通过压缩空气管道与压缩空气气源连接且用于将第二药箱内部的溶液进行循环的第二隔膜泵,连接所述压缩空气气源和第二隔膜泵的压缩空气管道上安装有第二过滤调压阀。

上述的具有双配料系统的单晶硅石英坩埚生产用表面喷涂设备,其特征在于:连接所述氮气气源和氮气电磁阀的管道上安装有第三过滤调压阀。

上述的具有双配料系统的单晶硅石英坩埚生产用表面喷涂设备,其特征在于:连接所述二氧化碳气源和二氧化碳电磁阀的管道上安装有第四过滤调压阀。

上述的具有双配料系统的单晶硅石英坩埚生产用表面喷涂设备,其特征在于:所述第一药箱和第二药箱的内部均安装有测温探头。

本实用新型与现有技术相比具有以下优点:

1、结构简单、设计合理且使用效果好。

2、双配料系统的设置使得喷涂设备可以连续工作,提高了工作效率,减少了涂料浪费率。

3、本实用新型在不增加能耗的前提下,能够连续生产,提高了设备的利用率和工作效率,提高了产能,减少了技术人员的工作量。

4、本实用新型可有效使用在单晶硅石英坩埚生产线喷涂设备中。

下面通过附图和实施例,对本实用新型做进一步的详细描述。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型第一配料系统和第二配料系统的关系连接示意图。

附图标记说明:

1—支架;            2—第二过滤调压阀;    3—第一过滤调压阀;

4—第一阀门;        5—第一药箱;          6—加热管;

7—第二药箱;        8—纯水箱;            9—第三过滤调压阀;

10—氮气电磁阀;     11—第一隔膜泵;       12—第二隔膜泵;

13—第四过滤调压阀; 14—二氧化碳电磁阀;   15—纯水电磁阀;

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