[实用新型]新型高分辨率检查镜头

说明书

技术领域

本实用新型属于镜头技术领域，具体涉及新型高分辨率检查镜头。

背景技术

检查镜头主要用于光学AOI、半导体AOI、FPD AOI、PCB AOI、材料AOI等检测。现有技术中的检查镜头有一个特点就是均为外置光源，也就是说光源和镜头分为二个不同的独立单元体，不是同一个独立体，这样自然无法发挥出镜头本身最优的成像品质。并且现有技术中的检查镜头的光学放大成像系统在成像和照明时均需要特定的环境和检查要求，可调性差。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型的目的在于设计提供一种新型高分辨率检查镜头的技术方案，该检查镜头增加了镜头的使用范围和使用灵活性，达到了镜头的最优性能。

所述的新型高分辨率检查镜头，包括光学放大成像系统，所述的光学放大成像系统上方配合设置CCD，光学放大成像系统下方同轴配合设置立方胶合棱镜，立方胶合棱镜侧面设置与光学放大成像系统光轴垂直的照明光学系统，其特征在于所述的光学放大成像系统中设有可变换成像光栏，所述的照明光学系统中设有可变换照明光栏。

所述的新型高分辨率检查镜头，其特征在于所述的照明光学系统中设有照明可移动镜组。

所述的新型高分辨率检查镜头，其特征在于所述的光学放大成像系统包括同轴设置的成像第一透镜、成像第二透镜、成像第三透镜和成像第四透镜，所述的成像第三透镜和成像第四透镜之间同轴配合设置可变换成像光栏。

所述的新型高分辨率检查镜头，其特征在于所述的立方胶合棱镜由第一直角棱镜和第二直角棱镜两斜面胶合构成，所述的立方胶合棱镜的胶合面分别与光学放大成像系统、照明光学系统成45度。

所述的新型高分辨率检查镜头，其特征在于所述的照明光学系统包括照明第一透镜，所述的照明第一透镜左侧依次同轴配合设置可变换照明光栏和照明可移动镜组。

所述的新型高分辨率检查镜头，其特征在于所述的照明光学系统左侧配合设置移动均光棒和照明光纤。

所述的新型高分辨率检查镜头，其特征在于所述的照明可移动镜组由一组照明第二透镜构成。

上述的新型高分辨率检查镜头，结构简单，设计合理，将光学放大成像系统和照明光学系统连接在一起，在光学放大成像系统和光学放大成像系统中设置可变换光栏，可以更多的应对不同的使用环境和检测条件，增加了使用范围，并在照明光学系统上增加照明可移动镜组，可针对不同的光学放大成像系统，更改到相对应的NA，使光学放大成像系统达到最优的性能。

附图说明

图1为本实用新型的光路示意图；

图2为本实用新型的具体结构示意图。

图中：1-光学放大成像系统；2-可变换成像光栏；3-第二直角棱镜；4-第一直角棱镜；5-照明光学系统；6-可变换照明光栏；7-照明可移动镜组；8-照明光纤；9-CCD；10-成像第一透镜；11-成像第二透镜；12-成像第三透镜；13-成像第四透镜；14-照明第一透镜；15-照明第二透镜；16-橡皮圈；17-移动均光棒。

具体实施方式

以下结合说明书附图来进一步说明本实用新型。

如图所示，新型高分辨率检查镜头包括光学放大成像系统1，光学放大成像系统1上方同轴配合设置CCD9，下方同轴设置由第一直角棱镜4和第二直角棱镜3两斜面胶合而成的立方胶合棱镜，立方胶合棱镜的胶合面与光学放大成像系统1的光轴成45度，在与光学放大成像系统1的光轴垂直方向的立方胶合棱镜侧面设置照明光学系统5。为了使得该检查镜头发挥最佳的性能，在光学放大成像系统1中设置可变换成像光栏2，在照明光学系统5中设置可变换照明光栏6和照明可移动镜组7。

光学放大成像系统1优选结构包括同轴设置的成像第一透镜10、成像第二透镜11、成像第三透镜12和成像第四透镜13，成像第三透镜12和成像第四透镜13之间同轴配合设置可变换成像光栏2。

照明光学系统5优选结构包括照明第一透镜14，照明第一透镜14左侧依次同轴配合设置可变换照明光栏6和照明可移动镜组7，照明可移动镜组7由一组照明第二透镜15构成。

同时在照明光学系统5左侧配合设置移动均光棒17和照明光纤8，移动均光棒17由橡胶圈16固定。