[实用新型]涂胶机的EBR喷嘴挡片装置及涂胶机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体光刻涂胶机，具体涉及一种涂胶机的EBR喷嘴挡片装置。本实用新型还涉及一种带有EBR喷嘴挡片装置的涂胶机。

背景技术

半导体光刻工艺中所使用的涂胶机如图1所示，涂胶机上设置有EBR(Edge Bead Removal，边缘光刻胶的去除)喷嘴(即去边喷嘴)2，EBR喷嘴2固定设置于EBR喷嘴固定挡块1上。

当涂胶机通过涂胶单元进行涂胶作业之后，需要采用EBR喷嘴2通过喷射溶剂去除硅片边缘约1mm的涂胶区域。但是，如果EBR喷嘴发生异常，会使喷射溶剂的方向发生变化，导致硅片边缘1mm以内的正常涂胶区域也被溶剂清除，最终导致制品异常。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种涂胶机的EBR喷嘴挡片装置，它可以有效防止EBR喷嘴反溅。

为解决上述技术问题，本实用新型涂胶机的EBR喷嘴挡片装置的技术解决方案为：

包括L型挡片，L型挡片包括长边部和短边部；所述L型挡片的长边部设置有不少于一个连接槽。

所述L型挡片的长边部和短边部为一体成型。

本实用新型还提供一种带有EBR喷嘴挡片装置的涂胶机，其技术解决方案为：

包括EBR喷嘴，EBR喷嘴固定设置于EBR喷嘴固定挡块上，其特征在于：所述EBR喷嘴固定挡块固定连接L型挡片，所述EBR喷嘴位于L型挡片的内侧；所述L型挡片包括长边部和短边部，所述L型挡片的长边部设置有不少于一个连接槽。

所述L型挡片的长边部和短边部为一体成型。

本实用新型可以达到的技术效果是：

本实用新型通过为EBR喷嘴加装遮挡装置，能够有效防止EBR喷嘴发生异常时溶剂反溅导致制品异常的情况发生。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明：

图1是现有技术涂胶机的示意图；

图2是本实用新型涂胶机的EBR喷嘴挡片装置的立体图；

图3是图2的正视图；

图4是图2的俯视图。

图中附图标记说明：

1为EBR喷嘴固定挡块，    2为EBR喷嘴，

31为L型挡片，           32为连接槽。

具体实施方式

如图2至图4所示，本实用新型涂胶机的EBR喷嘴挡片装置，包括L型挡片31，L型挡片31包括一体成型的长边部和短边部；

L型挡片31的长边部设置有两个连接槽32，连接槽32用于通过螺栓固定连接EBR喷嘴固定挡块1。

使用时，将L型挡片31通过螺栓固定连接在EBR喷嘴固定挡块1上，使EBR喷嘴2位于L型挡片31的内侧，从而防止EBR喷嘴发生异常时溶剂的反溅。