[实用新型]一种大尺寸长度测量装置组合

说明书

技术领域

本实用新型涉及长度计量领域，具体涉及组合测量大尺寸长度(＞100mm)的技术。 

背景技术

现有的大尺寸长度测量方式有两种： 

一是在测长机上采用比较测量法测量(测量精度高)，这种方法必须有相同尺寸的标准器，不是任意尺寸长度都能测量。二是用测长机直接测量特殊尺寸，测量精度低且测量范围小。因此，现有的测量方法还未解决能测量任意大尺寸长度且在测量任意大尺寸长度时具有测量精度高的特点。 

实用新型内容

本实用新型解决了在测长机上没有长度标准器的情况下，也可以得到被测物高精度的测量值，节约了购置标准器的费用；解决了在测长机上任意大尺寸长度都能进行精确地测量。 

一种大尺寸长度测量装置组合，包括测长机，激光干涉仪的激光头，反射镜和干涉镜，测长机作为测量机体用于安置被测物，激光干涉仪的反光镜可移动地安装在测长机尾座上，激光干涉仪的干涉镜安装在测长机的头座上，在测长机上移动头座或尾座可使干涉镜和反射镜产生相对移动。 

测长机还包括在测长机头座上的测长机光管，采用干涉光管代替测长机的光学管，作为测长机的限位机构基准数值的读数系统。 

采用高精度位移传感器代替测长机的光学管，作为测长机的限位机构基准 数值的读数系统。 

本实用新型的测量装置组合填补了目前测量大尺寸长度采用比较测量法(须有相同尺寸的标准器才能完成测量，且不是所有点都能测量)及采用直接测量法，测量范围小，测量精度低的缺陷，解决了在测长机上没有长度标准器的情况下，也可以得到被测物高精度的测量值，节约了购置标准器的费用，能够在测长机上精确测量任意大尺寸长度。 

附图说明

图1为大尺寸长度(＞100mm)测量装置组合中测长机的示意图，1测长机床身；2测长机头座；3测长机光管；4被测物；5测长机尾座上的尾管；7激光干涉仪的干涉镜；8激光干涉仪的反射镜。 

图2为大尺寸长度(＞100mm)测量装置组合中激光干涉仪的示意图，6激光干涉仪的激光头；9激光干涉仪支撑架。 

图3为干涉光管或高精度位移传感器。10测头；11干涉类光管或高精度位移传感器主体；12读数机构。 

具体实施方式

下面结合附图对本大尺寸长度(＞100mm)测量装置组合作进一步的说明。 

本测量装置组合方案技术：一、测长机使用的是东德产3米测长机，测长机头座上的测长机光管精度为1μm。利用测长机头座上的测长机光管3、测长机尾座上的尾管5作被测物4的限位机构，被测物4装卡在测长机的工作台上，通过测长机工作台的调整螺钉可使被测物中心线调整到与测长机导轨平行，再利用限位机构可从测长机光管3中读出基准数值。二、将激光干涉仪的干涉镜7安装在测长机的头座上，将移动激光干涉仪的反射镜8安装在测长机的尾座上， 激光干涉仪的激光头6发出的激光光束、干涉镜和反射镜调整好读出基准数值，在测长机的导轨上移动头座或尾座可使干涉镜和反射镜产生相对移动，测长机工作台上装夹被测物后，利用限位机构可从测长机光管读出基准数值，然后激光干涉仪读数机构进行测量读数。三、如果测量时需要提高测量精度，故可从测长机上取下测长机光管，换上干涉类光管(如上海光学仪器厂生产的精度0.1μm的接触式干涉仪上取下光管换上或购置精度高于测长机光管精度的位移传感器换上)见图3作为限位机构基准的读数系统即可。 

本组合方案的测量过程为：首先移动测长机的头座和尾座利用测长机的限位机构将测长机光管的数值对零，在测长机的头座上安装激光干涉仪的干涉镜，在测长机的尾座上安装激光干涉仪的反射镜，同时使激光干涉仪的读数机构12清零。其次，移动测长机尾座或测长机头座2，在工作台上安装被测物4，利用工作台调整被测物4，利用测长机限位机构将测长机光管3的数值对零，激光干涉仪采数。当换上干涉类光管或高精度位移传感器作为测长机的限位机构基准数值的读数系统即可提高测量精度。 

由于我国现使用的测长机范围多种，如2m、3m、5m、10m、30m等，而激光干涉仪的测量范围一般也在40m，因此，本大尺寸(＞100mm)长度测量装置组合是对长度计量领域设备测长机和激光干涉仪提出的组合测量技术方案，测量采用干涉光管或高精度位移传感器及激光干涉仪组合，来实现大尺寸长度任意尺寸的测量，且大大地提高测量精度，通过此方法解决了能够精确地测量任意大尺寸长度的问题。