[实用新型]一种真空机组

权利要求书

1.一种真空机组，包括机架（10）以及机架（10）上设置的多个泵体和气液分离器（15），所述的各泵体、气液分离器（15）通过连接管路相互串联连接，其特征在于：所述的泵体与待抽气装置（20）之间设置有冷凝器（12）。

2.如权利要求1所述的真空机组，其特征在于：所述的泵体包括沿待抽气装置的出气口依次设置的第一罗茨泵（11）、第二罗茨泵（13）和水环泵（14），所述的气液分离器（15）与水环泵（14）的出气口相连，所述的冷凝器（12）设置在第一、二罗茨泵（11、13）之间。

3.如权利要求1或2所述的真空机组，其特征在于：所述的冷凝器（12）包括壳体，所述壳体相对应的两侧分别设有进气管接头（121）和出气管接头（122），所述进、出气管接头（121、122）均与壳体内空腔相连通，所述壳体空腔内设置冷却单元。

4.如权利要求3所述的真空机组，其特征在于：所述的壳体包括管状壳体（12a）和管状壳体（12a）两端头处设置的两半球形壳体（12b），所述的两半球形壳体（12b）与管状壳体（12a）之间设置有隔板（125），所述隔板（125）将壳体内部空腔分隔成三个区域，所述的冷却单元包括两隔板（125）间平行排布的冷却水管（126），所述冷却水管（126）的管长方向与壳体长度方向一致，且各冷却水管（126）的两端头部均固定在两隔板（125）上开设的固定孔内，所述冷却水管（126）的外壁、管状壳体（12a）和两隔板（125）构成的腔室与进、出水管接头（123、124）相连通，所述两半球形壳体（12b）上分别设置冷却水的进水管接头（123）和出水管接头（124），所述两端半球形壳体（12b）、两隔板（125）和冷却水管（126）内壁构成的腔室与进、出水管接头（123、124）相连通，所述进气管接头（121）位于靠近出水管接头（124）的一端设置，出气管接头（123）位于靠近进水管接头（123）的一端设置。

5.如权利要求4所述的真空机组，其特征在于：所述的管状壳体（12a）内部设有间隔布置的气流缓冲板（127），所述的相邻气流缓冲板（127）分别与管状壳体（12a）的上下侧壳壁相连接且与管状壳体（12a）的壳壁构成气体流动的迂回状通路，所述气流缓冲板（127）的板面垂直于冷却水管（126）管长方向布置。

6.如权利要求5所述的真空机组，其特征在于：所述气流缓冲板（127）的板面呈半圆形或大半圆形，所述气流缓冲板（127）的弧形边与管状壳体（12a）的壳壁相固接，所述与管状壳体（12a）下侧壳壁相固接的气流缓冲板（127）的弧形边的中部设有空缺部（127’）或通孔。

7.如权利要求4所述的真空机组，其特征在于：所述两半球形壳体（12b）的下侧分别设有排污口（128），所述管状壳体（12a）的下侧设有固定支架（129）。