[实用新型]热处理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种热处理装置，详细而言，涉及一种例如在对陶瓷原料粉末进行热处理(预烧)时等所使用的热处理装置。

背景技术

陶瓷电子部件等所使用的陶瓷粉末通常经过对陶瓷原料粉末进行热处理(预烧)的工序来制作。

而且，作为对陶瓷原料粉末进行热处理所使用的热处理炉，例如使用转炉型热处理炉。

作为这种热处理炉，例如提出有用于对碳酸钡和二氧化钛的混合物等被热处理物(陶瓷原料粉末)进行预烧(热处理)来合成钛酸钡的热处理装置(参照专利文献1)。如图3所示，该热处理装置是连续式热处理装置，其具有：用于供给被热处理物(陶瓷原料粉末)的送料器110、在收纳有被热处理物的状态下被驱动而绕轴心旋转的筒状炉芯管102、加热机构105、将被合成的钛酸钡粉末排出的排出部112。

而且，在该热处理装置中，设置有气体排出机构111，该气体排出机构111将对于炉芯管102内的热处理而言不需要的气体成分自炉芯管102内吸引并向外部排出，在炉芯管102的被供给被热处理物这一侧的端部，配设有气体排出机构111的气体排出部。

而且，在该热处理装置中，通过将炉芯管内的不需要的气体成分可靠地向系统外排出，可以促进被热处理物的热处理，从而能够得到被高质量地热处理而形成的BaTiO₃等电介质材料(陶瓷粉末)，并且，可以谋求装置结构的简化。

但是，如专利文献1所示，在利用固相法对BaTiO₃等电介质材料进行预烧合成的情况下，为了使合成反应稳定，需要将合成时产生的包含CO₂等的气体连续排出以使炉芯管内部的CO₂浓度稳定。

而且，为了实现上述目的，进行稳定的排气变得很重要，但由于废气是高温且多数情况下包含微粒粉，因此，对于通常的风量测定器而言，难以连续且精度好地计测流量。

另外，由于废气中含有微粒粉，因此，通常因排气装置所具有的除尘器过滤装置的堵塞等而导致排气风量容易变得不稳定。

并且，由于大多使用一台排气装置(除尘器)进行多个热处理装置的排气，根据不同运转状况，各排气装置的排气风量产生偏差，因此，也存在容易导致品质变动的问题。于是，为了解决上述问题，控制各热处理炉的排气风量变得很重要，但即便想要测定排气风量(废气量)，由于对象工序的废气是高温且大多数情况下包含微粒粉，因此，实际情况是利用现有的风量测定器难以连续且精度好地计测废气量。

专利文献1：日本特开2005-76959号公报

实用新型内容

本实用新型是为了解决上述课题而作出的，其目的在于提供一种热处理炉，其能够自炉内稳定地进行排气，适用于例如对陶瓷原料粉末进行预烧来合成具有所希望的组成的电介质材料(陶瓷粉末)的情况等。

为了解决上述课题，本实用新型的热处理装置具有：被热处理物在内部通过的炉主体、对通过所述炉主体的被热处理物进行加热的加热机构、用于将包含在所述炉主体产生的气体的炉内气体排出的排气机构，所述热处理装置的特征在于，作为所述热处理装置所使用的所述排气机构，具有：

(a)使自所述炉主体排出的所述炉内气体流过的排气主管；

(b)与所述排气主管的中途位置连接，以使大气自外部流入所述排气主管的大气流入管；

(c)设置于所述大气流入管，对经过所述大气流入管流入所述排气主管的大气的量进行测定的风量测定传感器；

(d)设置于所述排气主管，通过控制开度来调节流过所述排气主管内的气体的流量的风量调节挡板；

(e)根据由所述风量测定传感器检测到的所述大气的量来控制所述风量调节挡板的开度的控制机构。

另外，在本实用新型的热处理装置中，优选为，所述风量调节挡板设置于所述排气主管的、与所述大气流入管连接的连接部下游的规定位置。

通过将风量调节挡板设置于排气主管的、与大气流入管连接的连接部下游，风量调节挡板接触的气体为炉内气体与大气混合而得到的混合气体(即温度低、微粒粉的含有比例小的气体)，因此，可以提高风量调节挡板的耐用性、风量调节的稳定性等。

但是，本实用新型并非排除将风量调节挡板设置于排气主管的与大气流入管连接的连接部上游侧的结构，在该情况下，通过弄清风量调节挡板的开度与来自大气流入管的大气的流量及来自炉芯管的炉内气体的流量之间的关系，也能够得到本实用新型的基本效果。

另外，在本实用新型的热处理装置中，优选为，所述被热处理物是热处理后成为具有所希望的组成的陶瓷粉末的陶瓷原料粉末。