[实用新型]风机过滤器固定装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及风机配套的附属部件结构技术领域，尤其涉及一种风机过滤器固定装置。

背景技术

随着半导体工艺设备的发展，对集成电路硅片的清洗制造工艺要求也越来越高。集成电路清洗工艺过程中，风机过滤器（Fan Filter Unit，简称为“FFU”）主要用于微小颗粒过滤、产生较均匀的风速以求得到一个良好的层流环境。因此，对于风机过滤器的安装要求也必然越来越高。

目前，国内外大多数的半导体设备生产商均采用一种如图1和图2所示的固定装置1来对风机过滤器a进行安装，当固定装置1周围无其他物体时，安装过程简单方便。但当固定装置1周围有其他物体时，如两个或者多个FFU的边缘均需要固定装置1进行紧固时，由于FFU的高度较高，通常在300mm以上，受工艺腔室微空间需求的限制，这两个或多个FFU之间的间隙通常是宜小而不宜大的，一般在50mm~60mm之间，如图3所示，固定装置1的通孔5很靠近FFU a的边缘，在实际安装时没有合适的工具对其进行安装，导致安装困难和拆卸不便；而且如果安装时固定装置1无法正常拧紧，会导致FFU a各部分受机械应力不均匀，存在局部漏气的危险。

实用新型内容

（一）要解决的技术问题

本实用新型提供一种风机过滤器固定装置，用以解决现有的风机过滤器固定装置存在的上述问题。

（二）技术方案

本实用新型提供一种风机过滤器固定装置，所述风机过滤器固定装置为T型结构，且所述风机过滤器固定装置的上底面两端均具有凸起，其中，T型结构与所述凸起之间的卡槽与风机过滤器的边缘匹配；

所述风机过滤器固定装置上设置有贯穿上、下底面的通孔。

如上所述的风机过滤器固定装置，优选的是，所述通孔设置在所述风机过滤器固定装置上下底面的中间位置。

如上所述的风机过滤器固定装置，优选的是，所述通孔的横截面为圆形或长圆形。

如上所述的风机过滤器固定装置，优选的是，所述固定装置的材质为铝合金。

（三）有益效果

本实用新型所提供的风机过滤器固定装置为T型结构，且风机过滤器固定装置的上底面两端均具有凸起，其中，T型结构与凸起之间的卡槽与风机过滤器的边缘匹配，风机过滤器固定装置上还设置有贯穿上、下底面的通孔，使得当风机过滤器固定装置周围有其他物体时，如两个或者多个FFU的边缘需要固定时，增加了通孔与FFU边缘的距离，便于风机过滤器的安装固定，且拆卸方便。

附图说明

图1为现有技术中风机过滤器固定装置的结构示意图；

图2为图1的剖视图；

图3为现有技术中风机过滤器固定装置固定FFU时的位置关系示意图；

图4为本实用新型实施例中风机过滤器固定装置的结构示意图；

图5为图4的剖视图；

图6为本实用新型实施例中风机过滤器固定装置固定FFU时的位置关系示意图；

图中，1：风机过滤器固定装置；a：风机过滤器；2：螺钉；3：密封垫圈；4：铝板；5：通孔；6：凸起；7：卡槽。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

图4所示为本实用新型实施例中风机过滤器固定装置的结构示意图。结合图4和图5所示，本实施例中风机过滤器固定装置1为T型结构，且风机过滤器固定装置1上底面两端均具有凸起6，其中，T型结构与凸起6之间的卡槽7与风机过滤器a的边缘匹配；风机过滤器固定装置1上还设置有贯穿上、下底面的通孔5。

其中，通孔5的横截面可以为任意形状，如圆形或长圆形；本实施例中优选将通孔5设置在风机过滤器固定装置1上底面的中间位置，这样在安装和拆卸风机过滤器a时较为方便，还可以保证在工作过程中风机过滤器a受力均匀，防止发生应力集中，损坏风机过滤器a。

在生产风机过滤器固定装置1时，可以根据各FFU a之间的实际尺寸和安装要求调整风机过滤器固定装置1的长度和宽度，标上不同的型号以便进行批量生产，并根据需要调整通孔5的位置和数量，比如长度、宽度较大时，可以在风机过滤器固定装置1上底面中间设置两排通孔5，保证FFU a安装紧密且受力均匀。风机过滤器固定装置1选择强度比较高的材质，如铝合金，以保证FFU a安装牢靠。