[实用新型]分子筛再生设备

说明书

技术领域

本发明涉及硅烷提纯工艺技术领域，特别涉及一种分子筛再生设备。

背景技术

硅烷经过一系列精馏设备后还含有微量的杂质，需要用分子筛进一步除去，经过分子筛吸附除杂后得到电子级硅烷。当分子筛吸附杂质到一定程度后吸附功能下降，此时需要分子筛离线再生。

在现有技术中，分子筛再生一般有两种方法。第一种，专利号为“201110255542.X”、专利名称为“一种利用产品氮气参与分子筛吸附器再生的工艺”的专利提供了一种利用产品氮气参与分子筛吸附器再生的工艺，将出空气分离塔的产品氮气管道和污氮气管道之间用管道连接，并加装控制阀门，将产品氮气引入加温再生用污氮管参与分子筛吸附器再生，不必过多食用节流空气，即可满足分子筛再生气体量的需求。可使更多空气进入塔内参与精馏，从而可以提高气体产量。但是该种再生方法与本发明提到的工艺相差较多，无可比性。

现有技术中第二种再生的方法，就是先用氮气将分子筛内的硅烷置换出去，然后用热氢气加热分子筛方式将分子筛吸附的杂质脱附出去，被加热的气体流过分子筛，加热分子筛并将分子筛微孔内的杂质带走。

上述第二种分子筛再生的方法与本发明较近，但是存在如下缺陷：

第一，分子筛硅烷置换步骤就需要氮气，而再生需要切换到氢气，由于氢气分子直径小，其易于进入分子筛的小孔中，易于给硅烷提纯工艺带来氢气杂质。

第二，氢气安全性较差。氢气化学性质活泼，分子体积小，容易泄露，如果泄露将形成爆炸性混合物，对人员和设备造成安全隐患。

第三，氢气成本高。用氮气置换完毕后用还需要用氢气再生，提高了再生分子筛的成本。

有鉴于此，如何对现有技术中分子筛再生设备作出改进，从而一方面简化再生工艺和避免带来氢气杂质，另一方面能够保证安全和降低再生成本，是本领域技术人员亟需解决的问题。

发明内容

本发明要解决的技术问题为提供一种分子筛再生设备，该再生设备设计能够一方面简化再生工艺和避免带来氢气杂质，另一方面能够保证安全和降低再生成本。

为解决上述技术问题，本发明提供一种一种分子筛再生设备，包括吸附塔，所述吸附塔设有硅烷进口阀门和硅烷出口阀门，并所述吸附塔的内部还设有分子筛；该吸附塔连接有用于在分子筛再生过程中硅烷置换和硅烷杂质脱附的氮气输送装置。

优选地，所述氮气输送装置的管路上还设有加热器。

优选地，所述加热器为电加热器。

优选地，所述电加热器上设有温度调节部件。

优选地，所述吸附塔上还连接有温度显示器。

优选地，所述氮气输送装置的管路上还设有调节氮气流量的调节阀。

在本发明中，硅烷置换和硅烷杂质的脱附都适用氮气输送装置通过输送氮气来完成的，因而省却了现有技术中关闭氮气阀门和开启氢气阀门的工艺步骤，从而简化了再生工艺。此外，进行硅烷杂质脱附时，还是采用的氮气，因而能够避免再带来氢气杂质。还有，在本发明中，氮气为惰性气体，不易于与其他物质发生化学反应，不会燃烧和爆炸，操作安全。最后，氮气的成本比氢气低很多，因而能够节约再生成本。

综上所述，本发明所提供的分子筛再生设备的设计能够一方面简化再生工艺和避免带来氢气杂质，另一方面能够保证安全和降低再生成本。

附图说明

图1为本发明一种实施例中分子筛再生方法的流程框图；

图2为本发明一种实施例中分子筛再生设备的结构示意图。

具体实施方式

本发明的核心为提供一种分子筛再生方法，该再生方法的设计能够一方面简化再生工艺和避免带来氢气杂质，另一方面能够保证安全和降低再生成本。此外，本发明另一个核心为提供一种分子筛再生设备。

为了使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步的详细说明。

首先，对本发明所用到的专业术语进行解释。

1、分子筛：吸附硅烷中乙烯的吸附材料，类型为4A分子筛；

2、吸附塔：盛装有分子筛的设备。

3、再生：分子筛吸附杂质乙烯后，利用热气体加热方式除去分子筛内吸附的杂质（亦即本发明提到的硅烷杂质，比如，上述的乙烯），达到分子筛再利用的一种方法。

请参考图1和图2，图1为本发明一种实施例中分子筛再生方法的流程框图；图2为本发明一种实施例中分子筛再生设备的结构示意图。