[实用新型]一种石英坩埚外形尺寸检测装置有效
| 申请号： | 201220348137.2 | 申请日： | 2012-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN202814356U | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 陈宝昌;刘福鸿;刘爱军;冯涛 | 申请（专利权）人： | 江苏华尔光电材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/06;G01B11/08 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 225600 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石英 坩埚 外形尺寸 检测 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种石英坩埚外形尺寸检测装置，其特征在于：包括激光测微仪、激光位移传感器、机械手定位机构、传送带和PLC控制系统，其中：
所述传送带用于传送石英坩埚；
所述激光位移传感器固定在机械手定位机构，并用于测量石英坩埚的高度；
所述激光测微仪，用于测量石英坩埚的外径、壁厚、弧厚和底厚；
所述PLC控制系统分别接收激光位移传感器和激光测微仪的测量数据，并控制机械手定位机构进行定位，同时控制传送带输送下一个待测石英坩埚，控制激光位移传感器和激光测微仪进行测量。
2.根据权利要求1所述石英坩埚外形尺寸检测装置，其特征在于：所述PLC控制系统采用西门子S7-300系列PLC控制系统。
3.根据权利要求1所述石英坩埚外形尺寸检测装置，其特征在于：所述激光测微仪同时设有弧厚测量点、底厚测量点、外径测量点和壁厚测量点。
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