[实用新型]工业有机废气低温等离子体集成净化装置

权利要求书

1.一种工业有机废气低温等离子体集成净化装置，其特征在于，装置壳体内依次串联有低温等离子体单元（Ⅰ）与分子筛吸附/催化单元（Ⅱ），装置壳体外配有产生等离子体的高频脉冲电源（3）和循环风机（10）；其中：

所述的等离子体单元（Ⅰ）采用流光电晕放电反应器，接地极为金属板状电极（1），放电极为线状或锯齿状金属电极（2），等离子体由高频脉冲电源（3）产生；

所述的分子筛吸附/催化单元（Ⅱ）由2个分子筛吸附模块构成的独立仓室（7）并联组成，仓室内分子筛吸附/催化模块由蜂窝状分子筛（4）、线型电极（5）及金属网状电极（6）构成，并连接高频脉冲电源（3），与各独立仓室（7）的外接气体管道（9）、管道进出口阀门（8）、循环风机（10）相连接。

2.如权利要求1所述的工业有机废气低温等离子体集成净化装置，其特征在于：所述的蜂窝状分子筛（4）、线型电极（5）及金属网状电极（6）组装成一体式紧凑结构。

3.如权利要求1所述的工业有机废气低温等离子体集成净化装置，其特征在于：所述分子筛吸附/催化单元（Ⅱ）由多级分子筛吸附/催化模块组成。

4.根据权利要求1所述的工业有机废气低温等离子体集成净化装置，其特征在于：所述的分子筛吸附/催化模块中的金属网状电极（6）为接地极，中间的线型电极（5）为高压放电极。

5.如权利要求1所述的工业有机废气低温等离子体集成净化装置，其特征在于：所述的分子筛吸附/催化模块（Ⅱ）中蜂窝状分子筛（4）由等体积浸渍法或阳离子交换法负载含有活性组分Mn、Ag、Cu、Ti、Co、Ni、Ce中任意两种或两种以上的复合金属氧化物催化剂。