[实用新型]一种多碱光电阴极膜层厚度的测量系统

权利要求书

1.一种多碱光电阴极膜层厚度的测量系统，其特征在于：具体结构是，从箱体（9）内的左边开始，通过支架和胶粘的方式，安装一个光源（6），之后同轴安装一个单色器（7）、分光器（8），在分光器（8）上部正前方安装一块反射镜（12），与反射镜（12）成90°的正下方再安装一块反射镜（12），在反射镜（12）之后沿单色器（7）的光轴延长线，安装一个光电倍增管（13），光电倍增管（13）的输出端与箱体外的计算机（14）连接，在分光器（8）下部后方安装一个反射率测定部件（11），在反射率测定部件（11）的出射端之后安装一块反射镜（12），与反射镜（12）成90°正上方再安装一块反射镜（12）。

2.根据权利要求1所述的多碱光电阴极膜层厚度的测量系统，其特征在于：反射率测定部件（11）的结构是，在壳体（11-4）内，依次按入射反射镜（11-1）、转折镜（11-2）、出射反射镜（11-5）的位置布置，按入射角和出射角的要求装配校正后，胶粘固定而成，在壳体（11-4）的上开口处，通过螺钉固定连接一个支座(11-3)。