[实用新型]一种微波裂片设备

权利要求书

1.一种微波裂片设备，其特征在于：该设备包括加热腔室、加热器、微波发生器、硅片传输机械手、载物台、测温系统和控制系统；其中：所述加热器、测温系统和控制系统设置于加热腔室内部，所述微波发生器设置于加热腔室外部；所述载物台固定于加热腔室底面上，加热腔室侧壁开传输孔，所述硅片传输机械手与控制系统连接，控制系统控制硅片传输机械手通过所述传输孔将硅片移入加热腔体内并置于载物台上及从载物台上抓取硅片并通过所述传输孔孔移出加热腔室。

2.根据权利要求1所述的微波裂片设备，其特征在于：所述控制系统与微波发生器、测温系统、加热器连接；所述控制系统接受测温系统传送的加热腔室内的实时温度，控制加热器的启动和关闭，并控制和调节微波发生器的启动和加热功率。

3.根据权利要求1所述的微波裂片设备，其特征在于：所述测温系统为设置在加热腔室内部的热电偶温度仪，与所述控制系统连接；所述热电偶温度仪的数量为4~10个，设置于加热腔室的底部和顶部。

4.根据权利要求1所述的微波裂片设备，其特征在于：所述加热腔室由316不锈钢制成。

5.根据权利要求1所述的微波裂片设备，其特征在于：所述微波发生器通过波导与加热腔室连接，所述微波发生器的数量为2~8个。

6.根据权利要求1所述的微波裂片设备，其特征在于：所述加热腔室外壁设置用于防止微波泄漏的防止微波泄漏壁。

7.根据权利要求1所述的微波裂片设备，其特征在于：所述加热腔室内壁设置保温壁。