[实用新型]光学显微镜物镜及包括该物镜的光学显微镜和激光切割机

说明书

技术领域

本实用新型涉及光学仪器领域，尤其涉及一种光学显微镜物镜及包括该物镜的光学显微镜和激光切割机。

背景技术

在半导体、太阳能、LED等行业的实验室中，需要使用激光切割机对芯片进行激光打标定位、激光剥离钝化层等等。一般的激光切割机分为激光发生器、光学显微镜、样品台三部分。从光学显微镜物镜底端到样品台这段距离如果不采取防护措施，则在操作该机台时，激光作用到样品后折射出来会形成一个激光折射区域（即物镜底端到样品台区域），这将对人体产生伤害。

目前已采用的防护措施有：

1.   设备外部安装一个金属箱，金属箱正前方有一扇门，可以打开此门进行设备调试，在激光作业时关闭金属箱门，起到防护作用；

该设计能起到很好的防护，但是金属箱体积庞大，费用较贵，而且会影响操作空间，也不便于设备的维修和保养。金属箱造成内部的光线灰暗，更加影响操作。

2.   在样品台上放一个简易防护装置，通常为一金属挡板，金属板放置在样品台上，包围所有物镜，高度超出物镜支架；

该防护简单易操作，成本低，但是没有能够完全防护所有发射的激光辐射，而且挡板比较简陋，使用板纸包上锡纸而成，防护能力一般，容易破损。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种光学显微镜物镜，包括原始物镜，其中，还包括一个伸缩套筒，所述伸缩套筒套设于原始物镜的底部。    

所述伸缩套筒是螺纹旋转式伸缩套筒。

所述伸缩套筒还可以是鱼竿伸缩节式套筒。

所述伸缩套筒底端装有一个缓冲环。                       

所述伸缩套筒是金属伸缩套筒。

所述缓冲环是橡胶环。

本实用新型还提供了一种光学显微镜，其中，包括上述任意一项所述的光学显微镜物镜。

本实用新型还提供了一种激光切割机，其中，包括上述的光学显微镜。

本实用新型通过在原始的光学显微镜物镜上套加一个与物镜紧密套接的伸缩套筒，解决了现有防护措施成本高且维护、使用不便或者防护能力低容易破损的缺点，在不影响原始物镜原先的光路设计的情况下，实现对激光的良好防护同时操作简便、与原始物镜整体性强、不易损坏。

附图说明

图1为本实用新型的实施例中的光学显微镜物镜的应用示意图。

具体实施方式

以下将结合附图对本实用新型做具体阐释。

图1示出了与本实施例相关的光学显微镜物镜物镜的实际应用情况。

101为原始物镜，102为伸缩套筒，103为样品台。

所述伸缩套筒102是在不改变原始物镜101结构的前提下，在原始物镜101底部套加上去的。伸缩套筒102与原始物镜101主体紧密结合并固定，伸缩套筒102底部装有缓冲环1021，伸缩套筒的伸缩距离为原始物镜101底端至样品台103之间的距离，且可调节至这段距离中任意位置。伸缩套筒102可以设计成螺纹旋转式或者鱼竿伸缩节式等伸缩方式，作业时调整完焦距后，伸缩套筒102伸长到贴至样品台表面的位置，然后即可进行激光微加工作业。

在作业时，光学显微镜调节至对焦平面，手动调节伸缩套筒102至样品台103表面，缓冲环1021和样品台103表面贴合后，进行激光微加工作业。使用完后手动调节伸缩套筒102缩回原位，操作完成。

本实施例中的伸缩套筒采用螺纹旋转的方式实现伸缩。

本实施例中的伸缩套筒还可以采用鱼竿伸缩节的方式实现伸缩。

本实施例中的伸缩套筒采用金属材质。

本实施例中的缓冲环采用橡胶材质。

本实用新型的另一实施例为一个包括上述光学显微镜物镜的光学显微镜。对于光学显微镜中除上述物镜以外的结构部分，本领域技术人员可以结合其公知常识知晓，在此不再累述。

本实用新型的另一实施例还可为一个包括上述光学显微镜的激光切割机。对于激光切割机中除上述物镜以外的结构部分，本领域技术人员可以结合其公知常识知晓，在此不再累述。

本实用新型在原先的光学显微镜物镜的原始结构上增加一个伸缩套筒，在设计上比较简单，容易生产，而且不影响原先的光路设计。激光微加工作业完全是在密闭的环境中进行，伸缩套筒对激光起到很好的防护作用，同时操作简便。光学显微镜物镜及伸缩套筒完全一体化，整体性强，不易损坏而且也非常美观。

需要说明的是，本实施例中提供的光学显微镜物镜仅用于解释本实用新型而不用于限制本实用新型，本领域技术人员受本实用新型之启发得到的类似技术应当视为落入本实用新型的保护范围之内。