[实用新型]等离子除胶清洁机进气管道

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种电路板制造辅助工具，特别涉及一种等离子除胶清洁机进气管道。

背景技术

随着电子产业的飞速发展，作为电子元件的印刷电路板的制作技术要求越来越高，对线路要求越来越细密，智能手机板等电路板增加盲孔的工艺制做流程。

目前镭射盲孔电路板电镀制作过程中，通常采用先进行镭射盲孔制作后进行等离子除胶和化学沉铜，然后在进行电镀加厚铜的方式；由于目前电路板对于板材的要求越来越高，如高TG（玻璃态转化温度）无卤素及其他有利于环保的材质等；所以对于镭射盲孔内的胶渣残留去除的要求越来越高。

目前PLASMA(等离子除胶清洁机)大多都采用柜式腔体，腔体内以千层架摆放电路板，关门抽真空后通过射频源激发排入一定量的CF₄等混合气体加以除胶的方式，柜门排布混合气体进气管道，管道一般为铝质材质；目前进气管道排布一般为直线竖立于门中央的“︱”结构，然后在进气管道上下分别开三个出气口进行除胶清洁；使用此“︱”结构的进气管道对一些结构复杂的盲孔电路板进行除胶清洁时，可能会导致以下不足和局限性：a.因“︱”结构的进气管道的排气口位于柜式离子除胶清洁机门内的中间，CF₄等混合气体的排放不能均匀散布于除胶清洁机内的每个角落，b.千层架上摆放的待除胶清洁的电路板的角落或其他位置可能会有达不到除胶清洁效果的风险，c.而靠近“︱”结构的进气管道排气口位置的电路板局部则有除胶清洁过度的风险；从而对后制程电路板的生产制作产生较大的品质隐患。

实用新型内容

实用新型目的：针对上述现有技术存在的问题和不足，本实用新型的目的是提供一种等离子除胶清洁机进气管道，可以有效防止等离子除胶清洁不均匀的隐患，不留死角，消除局部除胶清洁过度的风险。

技术方案：为实现上述实用新型目的，本实用新型采用的技术方案为一种等离子除胶清洁机进气管道，包括一垂直设置的直线形管道，所述直线形管道的两端还连接一矩形管道。

优选地，所述矩形管道的四边分别设有若干排气口。

优选地，所述排气口等间距设置在矩形管道的四边。

优选地，所述矩形管道的四边分别设有6个排气口。

附图说明

图1为本实用新型等离子除胶清洁机进气管道平面正视图。

图中，1、直线形管道，2、矩形管道，3、排气口，4、进气口，5、接头。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本实用新型，应理解这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围，在阅读了本实用新型之后，本领域技术人员对本实用新型的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。

在原有“︱”型进气管道结构的基础上在增加一矩形“□”的管道，其包括铝质结构管道主体、管径为8mm，整个“□”形结构管道整体固定于等离子除胶清洁机的门内侧，“□”管道四边各开6个直径1.2mm的排气口。

优选地，该矩形“□”进气管道，只是在原有“︱”结构的进气管道的基础上增加了上下左右四条互通的同规格管道；该新型管道的工程改造工艺结构简单，改造成本低廉，能够节省成本。

优选地，该矩形“□”进气管道的四个排气管各有6个直径1.2mm的排气口，共24个排气孔有效的保证了CF₄等混合气体能够持续均匀的散布于等离子除胶清洁机腔体内的各个角落，使等离子除胶清洁机腔体内千层架上的盲孔电路板得到良好的除胶清洁，不留死角。

优选地，该矩形“□”进气管道的24个排气口均匀的排布于管道的上，下，左，右四边，有效的改善了此前原有“︱”结构进气管排气口位置集中单一，且排气孔只有6个，在总进气量一定的情况下，局部靠近排气孔位置的盲孔电路板有除胶清洁过度的风险；而24个排气空的新型进气管，在总进气量一定的情况下，24个排气口能有效均匀的将CF₄等混合气体分散在除胶清洁机腔体内的各个角落，避免了靠近排气孔位置的盲孔电路板有除胶清洁过度的风险。

如图1所示，该等离子除胶清洁机进气管道主体为铝质材质，在原有直线形管道1的上下端连接一矩形管道2，管径为10mm，CF₄等混合气体从进气口4进入管道，沿直线管道1进入矩形管道2，矩形管道2的四边分别均匀的设有6个排气口3，各段管道通过接头5相连，24个排气口的直径均为1.2mm。正面矩形管道的宽800mm，长1350mm，此种排布结构有效得改善了传统等离子除胶清洁机局部除胶清洁过度和不足的问题。