[实用新型]涂布装置有效
申请号: | 201220370812.1 | 申请日: | 2012-07-27 |
公开(公告)号: | CN202778837U | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 焦宇;宋瑞涛;吴超 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | B05C5/00 | 分类号: | B05C5/00;B05C11/10 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人: | 张振伟;王黎延 |
地址: | 100176 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及涂布技术,特别涉及一种涂布装置。
背景技术
目前,基板涂布通用技术为:用涂布装置将感光材料涂布于基板之上,然后将涂布有感光材料的基板置于离心机上高速旋转,使基板上涂布的感光材料甩均匀。采用这一涂布技术的主要原因是:涂布装置涂布精度无法达到要求,无法利用涂布装置将感光材料均匀涂布于基板上,故采用预先将厚的感光材料涂布于基板上,再进行高速旋转方式来达到涂布均匀目的。
图1为狭缝喷嘴的涂布装置的剖面图,如图1所示,通用的涂布装置是由喷嘴分体1、喷嘴分体2两部分合成一个整体狭缝喷嘴结构而形成,具体的,喷嘴分体1及喷嘴分体2之间通过固定螺栓5固定连接为一体。喷嘴分体1及喷嘴分体2的下部呈锥形,锥形部分贴合在一起形成狭缝喷嘴,喷嘴分体1及喷嘴分体2所形成的狭缝宽度为0.10mm左右。涂布装置中还设置有盛放感光材料的存储室3,涂布装置上端中央部分还设置有感光材料进料孔14,对基板进行感光材料涂布时,利用气动压力泵将感光材料压进进料孔14,在压力作用下,存储室3中的感光材料经由喷嘴分体1及喷嘴分体2之间的狭缝而涂布于基板上。在涂布过程中,可通过调节压力泵的气压而调整感光材料吐出量。
目前,通用的这种预先涂布结构虽可以将感光材料涂布在基板之上,但在涂布感光材料后需将基板高速旋转,才能将部分感光材料甩掉,并使基板上的感光材料均匀涂布。这不但会造成感光材料浪费,并且随着基板尺寸的不断变大,在高速离心设备上旋转时很容易导致基板破碎;导致上述缺陷的主要原因是,涂布装置的狭缝喷嘴的狭缝尺寸不能调整,涂布精度很难提高,且最终的涂布平整度和均匀性很难保证。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型的主要目的在于提供一种涂布装置,能对涂布装置的狭缝喷嘴的狭缝间隙进行调整,使涂布于基板上的涂布材料更均匀。
为达到上述目的,本实用新型的技术方案是这样实现的:
一种涂布装置,包括有狭缝喷嘴,所述狭缝喷嘴由两个喷嘴分体固定连接而成,所述两个喷嘴分体中的至少一个设置有调整空腔、以及与所述狭缝喷嘴的狭缝平行设置的调整螺栓,所述调整螺栓穿过所述调整空腔、且至少一端露出所述喷嘴分体。
优选地,所述调整螺栓露出所述喷嘴分体的一端设置有调整螺母。
优选地,所述调整空腔为槽。
优选地,所述槽沿所述狭缝喷嘴的长度方向设置;所述槽的长度与所述狭缝喷嘴的长度相等或小于所述狭缝喷嘴的长度。
优选地,所述槽位于所述狭缝喷嘴高度的三分之一至五分之一处。
优选地,所述槽的深度大于二分之一所述喷嘴分体的厚度。
优选地,所述涂布装置还包括用于盛放涂布材料的存储室;所述喷嘴分体上还设置有气泡导出孔,所述气泡导出孔与所述存储室连通。
优选地,所述存储室的截面形状为三角形。
优选地,所述涂布材料为感光材料。
本实用新型的涂布装置的狭缝喷嘴由两个喷嘴分体固定连接而成,该两个喷嘴分体中的至少一个设置有调整空腔、以及与狭缝喷嘴的狭缝平行设置的调整螺栓,调整螺栓穿过调整空腔、且至少一端露出喷嘴分体而设置。调整螺栓露出喷嘴分体的一端设置有调整螺母。这样,通过拧紧调整螺母而压迫调整空腔,使整个喷嘴分体变形,从而使狭缝喷嘴的狭缝间隙变大,来调整涂布材料的排出量,从而使涂布于基板等基材上的涂布材料更均匀。
附图说明
图1为狭缝喷嘴的涂布装置的剖面图;
图2为本实用新型的涂布装置的结构示意图;
图3为图2的A-A剖面示意图。
附图标记说明
1、喷嘴分体;2、喷嘴分体;3、存储室;4、调整螺栓;4-1、调整螺母;4-2、调整螺母;5、固定螺栓;6、基板;10、气泡导出孔;12、调整空腔;14、进料孔。
具体实施方式
对于液晶显示面板的加工而言,首先对玻璃基板进行镀膜,再在镀膜后的玻璃基板上均匀涂布感光材料,之后进行曝光、化学品显像,最终得到相应的图案;在感光材料涂布工艺时,对感光材料涂布的平整度和均匀性要求很高,传统涂布方式为将感光材料涂布于基板之上,称为预涂布,然后在离心机上利用高速度旋转来满足感光材料厚度和平整度、均匀性要求;对于传统的涂布方式是通过气动压力泵的压力作用实现对基板的感光材料涂布,但由于狭缝喷嘴间隙不可调节,这样,只能通过气动压力泵的气压来调整感光材料的涂布量,而气压调节的涂布材料涂布量,通过一次涂布很难保证对基板进行均匀涂布,也很难保证涂布的平整度、均匀性要求。
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