[实用新型]用于丝网印刷的设备

说明书

技术领域

本实用新型的实施例一般地涉及用于通过丝网印刷在衬底上沉积图案化层的设备。

背景技术

已知一种用于在衬底(具体而言但不限于是用于光伏(PV)电池的晶片)上得到诸如导电迹线之类的图案化层的技术是丝网印刷，其使用诸如浆料之类的合适印刷材料以及根据要沉积的期望图案而被适当刻画的合适丝网来进行。丝网印刷使用一个或多个刀或刷(其也被称为印刷刮条)，来将压力施加到丝网上，使得浆料扩散到丝网上并被转印到衬底上。

在过去十年间，PV市场经历了年成长率超过30％的成长。高市场成长率与实质上降低太阳电力成本的需求带来了对价廉地形成高质量太阳能电池的多方面严峻挑战。因此，一个主要挑战是提高在用于PV电池的晶片上图案化层的制造精度。

因此，存在对于能够得到精确的图案而不会显著增加工艺的成本和复杂度的、用于通过丝网印刷在衬底上沉积图案化层的设备和方法的需求。

实用新型内容

在本实用新型的一实施例中，提供了一种用于通过丝网印刷在衬底上沉积图案化层的设备，包括：衬底支撑，其上支撑所述衬底；丝网，其布置在所述衬底支撑上方，并在所述丝网与所述衬底支撑之间具有空间；印刷刮条，其用于将压力施加到所述丝网上，使得印刷材料扩散到所述丝网上并转印到所述衬底上，以形成所述图案化层；以及气体吹送器，其包括气体源和与所述气体源连接的出口部分，所述气体吹送器用于朝向所述丝网与所述衬底支撑之间的所述空间吹送气体，从而在所述空间内造成气流。

此外，使用该设备来通过丝网印刷在衬底上沉积图案化层的方法包括以下步骤：将衬底布置在衬底支撑上，丝网布置在所述衬底支撑上方，并且在所述丝网与所述衬底支撑之间具有空间；通过经由印刷刮条将压力施加到所述丝网，使得印刷材料扩散到所述丝网上并转印到所述衬底上，来形成所述图案化层；朝向所述丝网与所述衬底支撑之间的空间吹送气体，以在所述空间中造成气流；并且从所述衬底支撑取出经过处理得到的所述衬底。

附图说明

参照附图，根据下文对实施例的详细说明，本实用新型将变得更加清楚。在附图中，

图1是根据本实用新型的丝网印刷设备的示意性正视图；

图2是如图1所示的丝网印刷设备的示意性俯视图；

图3示出了根据本实用新型用作气体吹送器的出口部分的分配单元的示例；

图4是根据本实用新型的丝网印刷设备所执行的丝网印刷方法的流程图；并且

图5示出了根据现有技术的对比示例处理得到的衬底的一部分的显微图像以及根据本实用新型的示例处理得到的衬底的一部分的显微图像。

具体实施方式

将在下文参照附图详细描述本实用新型的示例性实施例，在附图中，相同的附图标记用于表示相同或相似的部件。

图1是根据本实用新型的丝网印刷设备100的示意性正视图，图2是如图1所示的丝网印刷设备100的示意性俯视图。丝网印刷设备100适于使用印刷材料(例如，浆料)通过丝网印刷在衬底上沉积图案化层。如图1和图2所示，丝网印刷设备100包括衬底支撑101、丝网102、印刷刮条103和气体吹送器104。衬底支撑101被构造为用其支撑表面101a来支撑要被沉积的衬底110。丝网102根据期望要沉积的图案而被适当地刻画，并被布置在衬底支撑101上方，并且，在丝网102与衬底支撑101之间具有空间120。在一个实施例中，空间120具有3-5mm的高度。印刷刮条103布置在丝网102以上，并被构造为在丝网印刷期间向丝网施加压力并沿着丝网移动，使得印刷材料被扩散到丝网上并被转印到衬底上。

气体吹送器104被构造为将气体朝向空间120吹送，以造成空间120中的气流。气体吹送器104包括气体源131和连接到气体源131的出口部分132。在一个实施例中，气体源131利用流体管线连接到出口部分132。在另一实施例中，气体源131与出口部分132一体化。

气体源131适于将气体供应到出口部分132。在一个实施例中，由气体源131供应的气体从以下气体组成的群组中选择：空气，氮气，惰性气体(例如氩气)，以及对于丝网、要被沉积的衬底和印刷材料基本不活泼的其他气体。在另一实施例中，由气体源131供应的气体是空气或压缩空气。在一个实施例中，气体源131是填充有压缩空气的压缩空气罐。在另一实施例中，气体源131是空气压缩机。在又一实施例中，气体源131是风扇。