[实用新型]多自由度可替换型电极机构

权利要求书

1.一种电极机构，用于向气体激光器的放电腔提供处于电极工作位置的电极，其特征在于，该电极机构包括传动机构(1)和安装在该传动机构(1)上的多个电极(3)，该传动机构(1)用于使该多个电极(3)的每一个移动到所述电极工作位置。

2.如权利要求1所述的电极机构，其特征在于，所述传动机构(1)为两个，所述多个电极(3)中的每一个的两端分别安装于该两个传动机构(1)上。

3.如权利要求1所述的电极机构，其特征在于，还包括一个调节机构(2)，该调节机构(2)位于所述电极工作位置的下方，用于调节处于电极工作位置的电极(3)在垂直方向的位置和倾斜角度。

4.如权利要求1所述的电极机构，其特征在于，所述传动机构(1)为履带式结构，其包括主动轮(11)、从动轮(12)和围绕所述主动轮(11)和从动轮(12)的履带(13)，所述多个电极(3)安装于所述履带(13)上。

5.如权利要求4所述的电极机构，其特征在于，所述主动轮(11)由一个电机(14)驱动。

6.如权利要求4所述的电极机构，其特征在于，还包括对驱动轮(11)和从动轮(12)施加一个预施力的机构，以使驱动轮(11)和从动轮(12)具有相互背离的倾向。

7.如权利要求6所述的电极机构，其特征在于，所述从动轮(12)的轴向两侧向外各伸出一个凸部(15)，并在每个凸部(15)的靠近驱动轮(11)的一侧固定一个弹簧5，并使该弹簧5预压缩，以使其对所述凸部(15)产生一个向着远离驱动轮(11)的方向的推力。

8.如权利要求4所述的电极机构，其特征在于，在所述传动机构(1)上还安装有托盘(4)，所述电极(3)通过该托盘(4)安装在所述履带(13)上。

9.如权利要求8所述的电极机构，其特征在于，所述托盘(4)包括用于与所述电极(3)固定连接的电极连接接口(42)，该电极连接接口通过多个弹簧组(43)与该托盘(4)相连。

10.如权利要求8所述的电极机构，其特征在于，所述传动机构(1)具有两个，分别位于两个传动机构(1)上的托盘(4)的安装位置是相互对应的，以使处于对应位置的两个所述托盘(4)共同支撑多个电极(3)中的每一个。

11.如权利要求10所述的电极机构，其特征在于，所述托盘(4)的底部设置有连接接口，该连接接口用于与固定于托盘(4)下方的调节机构(2)相抵接，所述调节机构(2)用于调节处于电极工作位置的电极(3)在垂直方向的位置和倾斜角度。

12.如权利要求11所述的电极机构，其特征在于，所述连接接口为半圆柱形槽(44)，所述调节机构(2)的顶部呈半球形，与所述半圆形槽(44)相配合。

13.如权利要求11所述的电极机构，其特征在于，每个托盘(4)的底部设置连接接口，所述调节机构(2)为四个，所述四个调节机构与位于电极工作位置的两个托盘(4)的连接接口相抵接，且使得连接接口分别对应电极(3)的四个角。

14.如权利要求3、11-13中任一项所述的电极机构，其特征在于，所述调节机构(2)包括电机(21)、连接器(22)、螺母(23)和丝杠(24)，所述螺母(23)和丝杠(24)组成滚珠丝杠系统，所述连接器(22)的一端与所述电机(21)相连接，另一端与所述螺母(23)固定。

15.如权利要求14所述的电极机构，其特征在于，所述连接器(22)上开有直径大于丝杠(24)的直径的导孔，使丝杠(24)可以进入连接器(22)的内部。