[实用新型]分束棱镜调整机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种光学领域的调整机构，尤其涉及一种分束棱镜的调整机构。

背景技术

随着半导体工艺日益趋于精密化和生产力要求的不断提高，半导体制造设备的精密性不断提升，相应地对产品的检测仪器的精密性要求也不断提高。在投影光刻系统中，为了提高对硅片标记的对准精度，对对准分系统采用的镜头的精度提出了越来越高的要求，而分束棱镜作为镜头组成的重要部件，其安装倾斜精度是影响镜头精度的的主要影响因素之一。

目前分束棱镜安装倾斜精度一般通过以下方法的实现：

将分束棱镜固定在分束棱镜固定座中，分束棱镜固定座提供精度比较高的基准面，以此作为分束棱镜的调节基准，以保证分束棱镜在镜头中的倾斜安装精度。此种方法对加工精度要求比较高，特别是对小尺寸分束棱镜，往往无法满足要求。

请参考附图1，其为现有技术中的分束棱镜固定装置的剖视结构示意图，图中400为分束棱镜，401为分束棱镜固定座，402为顶丝，403为点胶孔，现有技术的分束棱镜固定装置中，分束棱镜400固定安装在分束棱镜固定座401中，分束棱镜400通过顶丝402或在点胶孔403中点胶固定在分束棱镜座401中，图中面Q1与面Q2是分束棱镜与分束棱镜座的安装基准。要求面Q1与基准面N倾斜偏差小于3分，面Q2与基准面M的倾斜偏差小于3分，基准面N与基准面M分别是成像光路与照明光路倾斜测量的参考面。

为了达到面Q1与基准面N倾斜偏差小于3分，需机械加工保证面Q1与面Q3平行度小于0.0065mm，面Q3与基准面N的平行度小于0.01mm；为了达到面Q2与基准面M的倾斜偏差小于3分，需机械加工保证面Q2与成像光路定位孔平行度小于0.0065mm，基准面M与成像光路定位孔的平行度小于0.01mm；这样要求加工精度比较高，风险大，且加工完成后不方便调整。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是分束棱镜不易精确、灵活地调整角度。

为了解决以上技术问题，本实用新型提供了一种分束棱镜调整机构，包括调整座、固定座、若干顶丝与两块压板，所述固定座内设有供放置分束棱镜的矩形槽，所述固定座设在所述调整座内，所述两块压板固定安装在所述调整座上，所述两块压板位于所述固定座的两侧，所述压板的内侧表面分别设有内凹球面，所述固定座的两侧分别设有与所述内凹球面匹配的外凸侧壁，所述外凸侧壁与所述内凹球面滑动连接，所述顶丝穿过所述调整座顶住所述固定座，所述固定座通过所述顶丝进行微调。

所述调整座包括一个顶盖，两个相对的侧壁和一个底座，所述顶盖盖在所述固定座的顶部，所述底座垫在所述固定座的底部，所述外凸侧壁与调整座的两个相对的侧壁垂直。

所述调整座的顶盖上设有与所述矩形槽匹配的矩形口。

两块压板上的内凹球面属于同一球面。

所述两块压板和所述固定座对应分束棱镜处设有供光路通过的圆形孔。

所述调整座的顶盖和底座上分别设有四个用于装配所述顶丝的螺纹孔，四个螺纹孔围绕着所述矩形槽均匀分布，所述螺纹孔穿过调整座的顶盖或底座连接至所述固定座。

所述调整座的两个侧壁上分别设有两个用于装配所述顶丝的螺纹孔，所述螺纹孔穿过调整座的侧壁连接至所述固定座。

所述压板通过四个角上的螺钉与螺孔固定安装在所述调整座上。

所述压板与所述螺钉之间设有弹性垫片。

所述固定座的矩形槽的四周分别设有点胶孔，分束棱镜通过在所述点胶孔中点胶固定在所述固定座上。

本实用新型通过将固定座放置在调整座中，实现了对固定座的调整，通过对内凹球面与外凸侧壁的引入，使得固定座能够进行微调旋转，再通过顶丝实现全方位多角度地微调，从而实现对分束棱镜的角度进行精确、灵活地调整。

附图说明

附图1是现有技术的分束棱镜固定装置的剖视结构示意图；

附图2是本实用新型一实施例的分束棱镜调整机构的立体结构示意图之一；

附图3是本实用新型一实施例的分束棱镜调整机构的立体结构示意图之二；

附图4是本实用新型一实施例的分束棱镜调整机构的剖视结构示意图；

附图5是本实用新型一实施例的分束棱镜调整机构的固定座的结构示意图；

附图6是本实用新型一实施例的分束棱镜调整机构使用状态示意图；