[实用新型]一种晶圆测试平台的专用PIB有效
申请号: | 201220380613.9 | 申请日: | 2012-08-02 |
公开(公告)号: | CN202693619U | 公开(公告)日: | 2013-01-23 |
发明(设计)人: | 袁俊 | 申请(专利权)人: | 东莞利扬微电子有限公司 |
主分类号: | G01R1/02 | 分类号: | G01R1/02;G01R31/26 |
代理公司: | 东莞市冠诚知识产权代理有限公司 44272 | 代理人: | 张作林 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 测试 平台 专用 pib | ||
1.一种晶圆测试平台的专用PIB,包括信号带、测试机信号接点和转接接口,其特征在于:所述的信号带包括以圆盘的中心为圆心的第一环状信号接点及紧贴第一环状信号接点外圈的第二环状信号接点,所述的转接接口分组并排列于第二环状信号接点的外围呈环形。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆测试平台的专用PIB,其特征在于:所述的第一环状信号接点分布密度比第二环状信号接点分布密度大。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆测试平台的专用PIB,其特征在于:每组转接接口包括4个,各组之间留有空位。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆测试平台的专用PIB,其特征在于:所述的测试机信号接点有4组,每组之间留有空位且空位间距大于每组转接接口之间的间距。
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