[实用新型]一种闸门及湿法刻蚀设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及薄膜晶体管液晶显示器TFT-LCD生产技术领域，特别涉及一种闸门及湿法刻蚀设备。

背景技术

在TFT-LCD生产的湿法刻蚀设备中，玻璃基板都是通过闸门(Shutter)来进出每个刻蚀区间的。

如图1至图3所示，图1为现有技术中闸门的结构示意图；图2为现有技术中闸门前盖板的结构示意图；图3为现有技术中闸门后盖板的结构示意图。

现有技术中的闸门包括第一盖板13、第二盖板10以及位于第一盖板13和第二盖板10之间间隙的芯板1，第一盖板13设置的第一门缝14和第二盖板10与第一门缝14相对设置的第二门缝11形成用于基板通过的基板通道17；为描述方便，设定图1中基板通道17的延伸方向为水平方向。

第一盖板13设有若干沿第一门缝14的延伸方向分布的第一轴承座15，第二盖板10设有若干沿第二门缝11的延伸方向分布的第二轴承座12，第一轴承座15与第二轴承座12对应设置，且每对第一轴承座15与第二轴承座12之间设有一个轴承16；芯板1设有向右倾斜、且与轴承16滑动配合的腰形孔2。

芯板1右端的连接头3通过连接板4、传动杆6与气缸9的伸缩杆8实现传动；连接头3与连接板4固定连接。

气缸9的伸缩杆8沿水平方向伸缩，而芯板1中腰形孔2的倾斜方向以及与腰形孔2配合的轴承16决定了芯板1只能沿右上左下的方向位移，由此决定了传动杆6的左端与连接板4通过销轴5铰接，右端通过铰接件7与气缸9的伸缩杆8铰接。

在具体操作中，当气缸9的伸缩杆8外伸时，与伸缩杆8铰接的传动杆6将伸缩杆8向左的位移向量分解为向下位移和向左位移的分向量，并传递给与传动杆6铰接的连接板4，通过连接板4和连接头3驱动芯板1向左下方位移，将基板通道17关闭；当开启基板通道17时，气缸9的伸缩杆8向右缩回，传动杆6将伸缩杆8向右的位移向量分解为向上位移和向左位移的分向量，并传递给与传动杆6铰接的连接板4，通过连接板4和连接头3驱动芯板1向右上方位移，将基板通道17开启。

如图1所示，气缸9通过伸缩杆8、与伸缩杆8的外端铰接的传动杆6、与传动杆6铰接的连接板4以及与连接板4固定连接的芯板1的连接头3实现对芯板1位移的控制，进而实现对基板通道17开启或者关闭的控制；由于气缸9与芯板1之间的传动部件较多，而且存在两处铰接关系，各个部件之间的连接关系不够紧凑；闸门在运行一段时间后，传动杆6与伸缩杆8之间的铰接件7处以及传动杆6与连接板4的销轴5处很容易出现松动现象，从而影响气缸9对芯板1行程控制的精确性，进而导致在基板通道17开启时，经常会出现芯板1向上的位移量比原设定的位移量小，芯板1实际的上升位置比原设定的上升位置低的情况；此时，当基板穿过闸门的基板通道17时，板芯1与基板之间会发生接触，进而导致基板上的图案被芯板1的下边划伤，出现工艺不良事故，严重时将导致原料报废；而且，基板上的图案被划伤的现象不易被发现，加之生产过程中采取的是抽查检验的方式，等发现基板的划伤不良时，已有许多基板的损伤已无法挽回，往往会造成很大的经济损失。

而且，芯板1也可能被损伤，对芯板1的更换以及对闸门的维修会导致长时间停机现象，从而造成更大的损失。

因此，如何提供一种湿法刻蚀设备的闸门，以增强芯板驱动的稳定性，避免基板因芯板划伤而造成的工艺不良事故的发生，是本领域技术人员需要解决的技术问题之一。

实用新型内容

本实用新型提供一种湿法刻蚀设备的闸门，以增强芯板驱动的稳定性，避免基板因芯板划伤而造成的工艺不良事故的发生。

为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种湿法刻蚀设备的闸门，包括分别具有门缝并通过两个门缝形成基板通道的两个盖板、位于两个盖板之间的芯板、以及驱动所述芯板打开或关闭所述基板通道的驱动装置；

其中一个盖板和芯板通过至少一对相互配合的滑槽和滑轨可滑动连接；

所述驱动装置包括：传动轴、驱动传动轴动作的动力设备、与传动轴同轴固定的至少一个传动齿轮，位于芯板上与每一个传动齿轮啮合的齿条。

优选地，所述滑槽的延伸方向垂直于所述基板通道的延伸方向。

优选地，所述传动轴枢装于其中一个盖板，且所述传动轴轴心线的延伸方向与所述基板通道的延伸方向平行。

优选地，所述与传动轴枢装的盖板上具有贯穿其厚度方向的传动轴观察槽，所述传动轴观察槽的延伸方向与所述基板通道的延伸方向平行。