[实用新型]减少水平放置的玻璃基板变形的夹持装置有效
申请号: | 201220382178.3 | 申请日: | 2012-08-01 |
公开(公告)号: | CN202712151U | 公开(公告)日: | 2013-01-30 |
发明(设计)人: | 杨顺先;刘惠森;杨明生 | 申请(专利权)人: | 东莞宏威数码机械有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 张艳美;郝传鑫 |
地址: | 523000 广东省东莞市南城*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 减少 水平 放置 玻璃 变形 夹持 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种夹持装置,尤其涉及一种对有机发光二极管和太阳能电池板中玻璃基板进行夹持,可减少水平放置的玻璃基板变形的夹持装置。
背景技术
随着OLED(英文全称为:Organic Light-Emitting Diode,中文名称为:有机发光二极管)技术的不断发展,其有望成为下一代显示器的主流产品。但是其在生产制程上,为了有效提高生产率、降低生产成本及满足产品大尺寸化的需求,因此在生产制程上需要向大尺寸化突破。
在现有的生产制程中,一般对OLED玻璃基板使用水平处理方式的生产系统,而使用这种水平处理方式,玻璃基板主要受到重力向下而产生变形的影响。在低世代或小尺寸的OLED生产过程中,因为玻璃基板因受重力而产生中间部位下垂变形的量比较小,因此可以不用考虑此方面的问题。而随着玻璃基板尺寸的大断扩大,玻璃基板两端承载于承载台时,我们会遇到因重力而出现中间部位下垂变形的问题,而且此变形随着玻璃基板尺寸的加大此变形也随之加大。如图1所示,玻璃基板200两侧设置的承载臂300,两承载臂300之间形成承载台,承载台中间为中空结构,以方便对玻璃基板200进行加工,玻璃基板200承载于该承载台上,由于水平放置,玻璃基板200受到重力G作用而下垂,特别是玻璃基板200的中部位置,下垂的幅度△H更大,这种变形会严重影玻璃基板200在生产过程中的质量,提高生产成本。
在大尺寸的和高世代的生产线中(如高世代的OLED蒸镀生产线),因为考虑到无法解决玻璃基板因水平放置面产生的变形问题,可采用玻璃基板垂直的加工方式,但是采用此方式,也会产生蒸镀的均匀性难于控制的问题需要刻服。如果将玻璃基板采用垂直放置方式用于蒸镀生产线,则会带来蒸镀的均匀性难于控制的问题;并且OLED的早期的工艺一般是尺寸较小的玻璃基板,因此一般采用水平的方式放置玻璃基板,其对位结构比较成熟,如果在没有解决垂直方式的对位结构方面的问题,而贸然开发垂直的蒸镀系统,则面临比较大的技术风险及增加生产成本。
另,由于社会的快速发展所带来的能源危机日益突出,尤其是自然资源的日益紧缺,不得不促使人们在节能领域投入大量的人力物力进行研发投入,以便能开发出新的节能产品,而太阳能电池板的发明和应用就是诸多节能产品中的一项不可或缺的伟大发明。在太阳能电池板的制备工艺过程中,太阳能电池板的玻璃基板同样存在OLED中玻璃基板所存在的上述技术问题。
基于上述的问题,因此,需要一种降低玻璃基板因受重力而中间部位下垂变形的影响,达到使玻璃基板可加工状态,降低生产成本的夹持装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种降低玻璃基板因受重力而中间部位下垂变形的影响,达到使玻璃基板可加工状态,降低生产成本的夹持装置。
为了实现上述目的,本实用新型提供的减少水平放置的玻璃基板变形的夹持装置,适用于对玻璃基板进行夹持,包括对称设置的夹持臂、固定基板、对位装置、转动轴及伺服电机,所述夹持臂包括相互垂直连接的横向长条手指及纵向长条手指,所述固定基板设置于所述夹持臂之间,所述固定基板两端向下延伸出压持脚,所述压持脚与所述横向长条手指之间形成一供所述玻璃基板容置的缝隙,所述对位装置与所述夹持臂连接并驱动所述夹持臂相互靠近,所述横向长条手指及纵向长条手指均安装于所述转动轴上,所述伺服电机驱动所述转动轴转动。
较佳地,所述减少水平放置的玻璃基板变形的夹持装置还包括水平调节装置,所述水平调节装置调节所述夹持臂的水平度。通过利用所述水平调节装置,从使所述夹持臂在夹持所述玻璃基板前能够达到水平的目的,确保在对玻璃基板施加力的过程中,施加的扰动力不会产生沿所述夹持臂长度方向的分量,以免影响夹持效果。
较佳地,所述横向长条手指的末端向上弯折延伸出抵压所述玻璃基板的抵压部。由于所述转动轴带动所述横向长条手指转动,从而向上顶推所述玻璃基板,因此,通过设置所述抵压部,使顶推所述玻璃时更加方便容易。
具体地,所述抵压部的末端设置有压缩弹簧,所述压缩弹簧一端与所述抵压部固定,另一端与所述玻璃基板抵触。设置所述压缩弹簧,既可对扭转后的玻璃基板提供端侧壁的支撑又可对所述玻璃基板起来缓冲的作用,防止所述横向长条手指施力过大而损坏所述玻璃基板的表面。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造