[实用新型]一种高精度三维移动定位装置

权利要求书

1.一种高精度三维移动定位装置，其特征在于：包括一用于承载物件的载物台、X轴移动机构、Ｘ轴激光定位装置、Y轴移动机构、Ｙ轴激光定位装置、Z轴移动机构、Ｚ轴激光定位装置和基座，所述载物台安装在所述X轴移动机构上，所述X轴移动机构和Ｘ轴激光定位装置安装在所述Y轴移动机构上，所述Y轴移动机构和Ｙ轴激光定位装置安装在所述Z轴移动机构上，所述Z轴移动机构和Ｚ轴激光定位装置安装在所述基座上。

2.根据权利要求1所述的高精度三维移动定位装置，其特征在于：所述X轴移动机构包括X轴滑轨和依次连接的X轴滑块、第一齿轮组和第一驱动电机，所述X轴滑块通过与所述X轴滑轨配合从而在X轴方向上滑动。

3. 根据权利要求2所述的高精度三维移动定位装置，其特征在于：所述Y轴移动机构包括Y轴滑轨和依次连接的Y轴滑块、第二齿轮组和第二驱动电机，所述Y轴滑块通过与所述Y轴滑轨配合从而在Y轴方向上滑动；所述X轴移动机构安装在所述Ｙ轴滑块上。

4.根据权利要求3所述的高精度三维移动定位装置，其特征在于：所述Z轴移动机构包括Z轴滑轨和依次连接的Z轴滑块、螺旋传动机构和第三驱动电机，所述Z轴滑块通过与所述Z轴滑轨配合从而在Z轴方向上滑动，所述Y轴移动机构安装于所述Z轴滑块上。

5.根据权利要求3所述的高精度三维移动定位装置，其特征在于：所述X轴激光定位装置包括对应设置的X轴刻度条和第一激光头读数组件，所述Ｘ轴刻度条设于Ｘ轴滑块上并与Ｘ轴滑块的滑动方向平行，所述第一激光头读数组件安装在所述Ｙ轴滑块上。

6.根据权利要求4所述的高精度三维移动定位装置，其特征在于：所述Ｙ轴激光定位装置包括对应设置的Ｙ轴刻度条和第二激光头读数组件，所述Ｙ轴刻度条设于Ｙ轴滑块上并与Ｙ轴滑块的滑动方向平行，所述第二激光头组件安装在所述Z轴滑块上。

7.根据权利要求4所述的高精度三维移动定位装置，其特征在于：所述Ｚ轴激光定位装置包括对应设置的Ｚ轴刻度条和第三激光头读数组件，所述Ｚ轴刻度条设于Ｚ轴滑轨上并与Ｚ轴滑块的滑动方向平行，所述第三激光头组件安装在所述Z轴滑块上。

8.根据权利要求5所述的高精度三维移动定位装置，其特征在于：所述Ｘ轴刻度条外表面设有沿Ｘ轴刻度条长度方向等距排列的第一凹槽，所述第一激光头读数组件包括第一激光二极管、第一光检测器和第一透镜组件，所述第一透镜组件用于将所述第一激光二极管发射的激光束反射到所述X轴刻度条上，所述第一光检测器用于接收所述X轴刻度条反射回来的激光并转换为电信号。

9.根据权利要求6所述的高精度三维移动定位装置，其特征在于：所述Ｙ轴刻度条外表面设有沿Ｙ轴刻度条长度方向等距排列的第二凹槽，所述第二激光头读数组件包括第二激光二极管、第二光检测器和第二透镜组件，所述第二透镜组件用于将第二激光二极管发射的激光束反射到所述Y轴刻度条上，所述第二光检测器用于接收所述Y轴刻度条反射回来的激光并转换为电信号。

10.根据权利要求7所述的高精度三维移动定位装置，其特征在于：所述Ｚ轴刻度条外表面设有沿Ｚ轴刻度条长度方向等距排列的第三凹槽，所述第三激光头读数组件包括第三激光二极管、第三光检测器和第三透镜组件，所述第三透镜组件用于将第三激光二极管发射的激光束反射到所述Z轴刻度条上，所述第三光检测器用于接收所述Z轴刻度条反射回来的激光并转换为电信号。