[实用新型]旋转轴误差补偿系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种工具机旋转轴的水平测量技术领域，具体而言指一种高精度的旋转轴误差补偿系统，以快速、且准确的进行旋转角度误差校正，从而提高加工合格率。

背景技术

近年来随科技产业的发展，不论是在精密机械、半导体产业、微(纳)米科技都朝微小化、精密化与纳米级的方向前进，因此用于这些产业的各种工具机、产业机械、测量仪器的精度要求也越来越高，而这类工具机各旋转轴、平台的移动定位、旋转角度、水平度及垂直度的精度高低，也直接影响到后续加工与测量作业的合格率；

为此，目前各类工具机中针对其各种运动平台、旋转轴的定位、角度、水平或垂直等特性的测量与校正的设备与方法越来越多，且测量或校正的精度要求也越来越高。而以其中有关主轴、旋转平台等旋转轴的旋转角度测量为例，受到测量仪器不易架设在主轴上及无法自动测量的限制，而须个别进行测量，但由于每次重新量取的实际测量行程并无法与前次行程相同，多次测量也产生误差，再者测量耗时而且增加测量不确定度，更重要地，实际作测量校正时所需的时间更长，一般操作人员要熟悉相当多不同仪器架设及操作是件困难的事，而造成测量耗时，且影响到整体的精度与稳定性。

换言之，如能发展易于架构、且可自动测量的水平测量装置，将可提供旋转轴旋转角度的精密，而对后续校正及加工的精度与合格率有莫大助益。

发明内容

本实用新型的目的即在于提供一种旋转轴误差补偿系统，以能以快速、且准确的进行旋转角度测量，从而提高后续校正的准确性及加工合格率，同时提高其测量作业效率。

本实用新型的次一目的在于提供一种旋转轴误差补偿系统，其具有易于架构的效，能直接进行安装，无须繁复的安装及对位工作。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种旋转轴误差补偿系统，其特征在于，包括：

一旋转轴，用于接受参数，并以多个测距点作正向循序旋转；

一分度器，设置于旋转轴上且同轴线反向旋转，在接受参数同时反向循序旋转多个测距点的相等角度，以输出测量多个测距点的多个角度资料；

一倾斜感测器，固定于分度器，其具有一标准零点，根据所述分度器所输出的多个角度资料，逐次与标准零点分析角度误差，以逐次取得多个测距点的多个角度偏移值；

一控制器，用于输出参数，并根据倾斜感测器所求得的角度偏移值，用来补偿旋转轴上的多个测距点的角度偏差值。

所述分度器以角倍率方式来测量旋转轴上的多个测距点的角度。

所述分度器测量旋转轴正向运动与反向运动的多个测距点的多个角度资料，而所述倾斜感测器用来测量多个测距点上的各个角度误差值，以由控制器对比分度器的多个角度资料与倾斜感测器的各个角度误差值，以求得多个测距点的角度偏移值。

与现有技术相比较，采用上述技术方案的本实用新型具有的优点在于：

1、结构精简：本实用新型旋转轴误差补偿系统，仅需在一固定座上组设一倾斜感测器及一分度器，且通过信号线直接连接至控制器，即可在旋转轴作动时，通过自动的方式自行判断回馈至控制器，而对所述旋转轴进行水平测量校正，有效地提供一结构精简的旋转轴误差补偿系统。

2、方便测量：本实用新型的旋转轴误差补偿系统架构简单，且可由控制器自动执行，使每次重新量取的实际测量行程相同，不仅不致产生测量耗时与不确定的问题，一般操作人员即可进行测量，操作上极为方便。

3、测量精度高：本实用新型的旋转轴误差补偿系统直接架设于旋转轴上，并通过其内部的倾斜感测器检知偏移值的误差，并通过控制器自动执行，且逐步测量并将误差值回馈形成补偿，如此循环测量，即可迅速、且准确的取得正确补偿值，而能进一步提高其测量的精度。

4.本实用新型的旋转轴误差补偿系统，其具有易于架构的效，能直接进行安装，无须繁复的安装及对位工作。

附图说明

图1为本实用新型旋转轴误差补偿系统的系统示意图；

图2为倾斜感测器设置于壳体与基座的示意图；

图3为所述基座的示意图；

图4为所述旋转轴误差补偿系统的流程图；

图5为所述旋转轴准备正向循序旋转的前视图；

图6为所述旋转轴正向循序旋转的动作图；

图7为所述分度器反向循序旋转的动作图；

图8为所述分度器反向旋转到倾斜感测器的标准零点的前视图。

附图标记说明：1旋转轴；2分度器；3倾斜感测器；31壳体；32基座；33渐缩部；34分隔槽；35调整部；36调整螺栓；4控制器。