[实用新型]一种杜美丝微波加热烧结炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种杜美丝制造系统，具体说是一种利用微波加热氧化、烧结使铁镍合金镀铜层杜美丝快速生成Cu₂O层面的杜美丝微波加热烧结炉。

背景技术

普通红色、黄色、无硼杜美丝，在生成Cu₂O过程时都是在H₂或液化石油气环境场合中采用普通工频电炉加热至800-1380℃度。这一慢加热的时间过程，极易影响成品杜美丝的气密性和保存条件以及表面色差。此后再经涂硼后烧结成保护Cu₂O层面，对半导体器件用杜美丝还存在钠离子沾污，从而形成杜美丝产品供于光、电源市场。

现有专利号为00112365.3公开的一种黄色杜美丝的制备方法及装置，采用裸丝还原气氛下加热；复硼；加热氧化；快速冷却制备，其铁镍合金芯金属镀铜层慢速温度氧化，里层生成Cu₂O，最外层则生成CuO。红色Cu₂O能熔于玻璃，而黑色CuO不能熔于玻璃，生产杜美丝的过程中不能全部形成高纯度、纳米级的Cu₂O层，则在与铂组玻璃熔封过程中，残留在丝表面的少量CuO就不能熔于玻璃中，而熔封时CuO在高温下就会按下列方式：

转变成红色的Cu₂O并释放出O₂造成熔封在铂组玻璃中的杜美丝周围产生汽泡，从而影响气密性；另外，在送裸丝加热、还原时，如送丝出现故障或意外断丝时，易形成空载加热，造成能源浪费，使用性能不稳定。

发明内容

本实用新型的内容是针对现有慢加热技术生成Cu₂O中存在的问题，提供了一种结构简单、性能可靠、操作方便，能源利用率高，使用成本低，外层无CuO生成的杜美丝微波加热烧结炉，应用于杜美丝生产线中使铁镍合金覆(镀)铜层快速生成高纯度、纳米级Cu₂O粒子。

为了解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种杜美丝微波加热烧结炉，所述微波烧结炉包括烧结炉外壳、烧结炉金属内胆腔、陶瓷管和烧结微波发生器，烧结炉金属内胆腔设置于烧结炉外壳内，烧结陶瓷管穿接于烧结炉金属内胆腔内，烧结微波发生器对应烧结陶瓷管设置于烧结炉金属内胆腔内，裸丝穿过烧结陶瓷管。

进一步地，所述微波烧结炉内设有对应烧结陶瓷管内送丝的烧结红外温度测量测控仪。

在还原气氛下加热后的裸丝送入微波烧结炉，在微波烧结炉穿过烧结陶瓷管，烧结微波发生器对烧结陶瓷管内裸丝进行氧化烧结，氧化烧结后的裸丝至收丝盘收丝。采用以上技术方案，本实用新型的有益效果是：采用微波发生器对铁镍合金镀铜层杜美丝加热烧结，微波一体加热，被加热裸丝温度升高均匀且迅速，有利于晶核同时生成，粒子之间的毛细作用有利于小粒子按照一定的排列方式彼此组装成一定的形状，同时水分子在电磁场下不断转向，起到微搅拌作用，有利于均匀粒子的生成，提高烧结速度，高纯度、纳米级Cu₂O快速生成使铜的最外层不产生CuO，从而提高了杜美丝产品的内在质量以及后续铂玻璃熔封的气密性，杜美丝产品无表面色差，将原工艺普通杜美丝80-90％的成品率提高至99.8％以上，且微波快速加热新方法比传统工频电炉加热方法减少热能损耗85％以上，改善了杜美丝生产线的工作环境，节约了能源，生产出的杜美丝无需特定的保存环境，降低了生产运营成本；烧结红外温度测量测控仪探测裸丝加热温度，从而控制微波烧结炉的微波发生器的工作效率，满足烧结要求的实时调整；由烧结红外温度测量测控仪探测烧结温度决定收丝速度快慢，在保证送入收丝的裸丝不缩线的情况下，调整送丝速度，满足实时送丝速度的调整。

本实用新型采用微波发生器对杜美丝材料加热烧结，确保无CuO、高纯度、纳米级Cu₂O的快速生成，实现全程数字化控制，具有结构简单、性能可靠、操作方便，能源利用率高，使用成本低等优点，该系统制备的杜美丝材料外层无CuO生成，在后续铂玻璃熔封时无色差、无气泡，质量性能高。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型压丝装置结构示意图。