[实用新型]带真空度在线监测的固封极柱

权利要求书

1.一种带真空度在线监测的固封极柱，其特征在于：包括真空灭弧室（1）、离子柱（2）和真空传感器（3），真空传感器（3）设于真空灭弧室（1）的顶部，离子柱（2）设于真空灭弧室（1）的侧壁，所述离子柱（2）的一端与地相连，另一端与真空传感器（3）的上端相连，所述真空传感器（3）的工作腔外设有永磁铁（4），所述真空灭弧室（1）、离子柱（2）、真空传感器（3）和永磁铁（4）通过环氧树脂固封成为一体。

2.如权利要求1所述的带真空度在线监测的固封极柱，其特征在于：所述真空传感器（3）为采用潘宁放电原理的冷阴极电离规，其内部工作腔与真空灭弧室（5）管内真空相通。

3.如权利要求1所述的带真空度在线监测的固封极柱，其特征在于：所述离子柱（2）包括依次缠绕并通过液态硅橡胶固化在玻璃纤维板上的整流二极管（12）、限流电阻（13）、采样电阻（14）和隔离电阻（15）。

4.如权利要求3所述的带真空度在线监测的固封极柱，其特征在于：所述真空传感器（3）的输出端与离子柱（2）的信号输入端（11）相连，信号输入端通过一整流二极管（12）后依次与限流电阻（13）、采样电阻（14）和隔离电阻（15）相连，在所述采样电阻（14）两端并联一稳压二极管（16），并且与信号输出端（17）相连接。

5.如权利要求4所述的带真空度在线监测的固封极柱，其特征在于：所述整流二极管（12）为耐受反向电压高的高压二极管。

6.如权利要求4所述的带真空度在线监测的固封极柱，其特征在于：所述限流电阻（13）是由至少72个大功率电阻串联而成。

7.如权利要求1所述的带真空度在线监测的固封极柱，其特征在于：所述真空灭弧室（1）与真空传感器（3）相连接处设有硅橡胶缓冲层。