[实用新型]用于运动管件和固定平板连接处的密封装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种密封装置，特别是涉及一种用于可旋转和/或上下滑动的运动管件和固定平板连接处的密封装置。

背景技术

目前，在多种设备中需要安装既可以旋转又可以滑动的运动管件，如用于硅片清洗的清洗设备工艺腔室中的喷淋臂。根据不同工艺的要求，运动管件在工作时可相对其固定平板进行旋转和/或上下滑动，因而运动管件与固定平板之间需留有一定的间隙来保证顺利运动。然而，管件中喷出的液体经常会有部分通过运动管件与固定平板之间的间隙进入到其它的腔室中，影响其它腔室的正常运行。因此，对运动管件和固定平板的连接处进行有效密封是非常必要的，但现有的设备中未设置密封装置来防止该类连接处的液体渗漏。

实用新型内容

（一）要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是如何提供一种用于运动管件和固定平板连接处的密封装置，以克服运动管件中喷出的液体从该连接处进入其它腔室导致影响其他腔室正常运行的弊端。

（二）技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供的一种用于运动管件和固定平板连接处的密封装置，所述运动管件可相对固定平板旋转和/或上下滑动，所述密封装置包括上轴套和下轴套，所述上轴套和下轴套分别套在所述运动管件的管壁上；下轴套下端与所述固定平板连接，下轴套上部位于上轴套下部的内部；上轴套上端与所述运动管件连接。

其中，所述下轴套下端带有沿径向突起的边沿，所述边沿与固定平板连接。

其中，所述下轴套上部的外壁与所述上轴套下部的内壁之间设有间隙。

其中，所述下轴套上部的外壁与所述上轴套下部的内壁之间的间隙中设有滚珠固定架，所述滚珠固定架内设有滚珠。

其中，所述滚珠固定架设于所述下轴套上部的外壁上。

其中，所述滚珠固定架在所述下轴套上部的外壁周向上设有设为多个，多个所述滚珠固定架分布在所述下轴套上部的外壁周向上。

其中，所述滚珠固定架设为三个。

其中，所述上轴套上端与所述运动管件的连接处设有密封圈。

其中，所述密封圈设为多个。

其中，所述上轴套上端由可拆卸的左、右部分组成。

（三）有益效果

上述技术方案所提供的一种用于运动管件和固定平板连接处的密封装置，采用上轴套和下轴套对运动管件和固定平板的连接处进行封闭，下轴套下端与固定平板连接，下轴套上部位于上轴套下部的内部，上轴套上端与运动管件连接，一方面避免运动管件中喷出的液体从该连接处进入其它腔室，另一方面保证运动管件的顺利运动；进一步地，下轴套下端带有沿径向突起的边沿，该边沿与固定平板连接，可确保下轴套与固定平板的密封性，以防止运动管件中的液体从下轴套与固定平板连接处的间隙中泄露；进一步地，在上轴套和下轴套的间隙中增加滚珠，使得在维持运动管件正常旋转和/或正常上下滑动的同时，可有效保证运动管件与固定平板的垂直度并产生少量的粉尘颗粒。

附图说明

图1是本实用新型一种用于运动管件和固定平板连接处的密封装置的剖面图；

图2是本实用新型一种用于运动管件和固定平板连接处的密封装置的外观图；

图3是本实用新型中下轴套的俯视图；

图4是本实用新型中上轴套的装配图。

其中，1、运动管件；2、固定平板；3、上轴套；31、上轴套上端；32、上轴套下部；311、左部分；312、右部分；4、下轴套；41、下轴套上部；42、下轴套下端；5、滚珠固定架；6、密封圈。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

如图1和图2，本实用新型实施例提供的用于运动管件和固定平板连接处的密封装置，该运动管件1可相对固定平板2旋转和/或上下滑动，该密封装置包括上轴套3和下轴套4，该上轴套3和下轴套4分别套在运动管件1的管壁上；下轴套下端42与固定平板2连接，下轴套上部41位于上轴套下部32的内部；上轴套上端31与运动管件1连接。本实用新型采用上轴套3和下轴套4对运动管件1和固定平板2的连接处进行封闭，一方面避免运动管件1中喷出的液体从该连接处进入其它腔室，另一方面保证运动管件1的顺利运动。