[实用新型]一种湿刻设备有效
申请号: | 201220397991.8 | 申请日: | 2012-08-10 |
公开(公告)号: | CN202730239U | 公开(公告)日: | 2013-02-13 |
发明(设计)人: | 赵德江;张玉军;崔伟;祝杰 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C23F1/08 | 分类号: | C23F1/08 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;安利霞 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 设备 | ||
1.一种湿刻设备,其特征在于,包括多个喷嘴,一个所述喷嘴包括:
喷头本体;
所述喷头本体的第一端具有用于进行机械固定的螺纹部分;
所述喷头本体的第二端具有一个凹槽;
贯通所述喷头本体的用于输送刻蚀药液的导流道,所述导流道的末端位于所述凹槽中;
所述导流道的末端具有一喷射孔。
2.根据权利要求1所述的湿刻设备,其特征在于,
所述喷射孔呈丝网状。
3.根据权利要求2所述的湿刻设备,其特征在于,
所述喷射孔位于所述凹槽的正中位置,呈圆形,且边缘与所述凹槽相切。
4.根据权利要求1所述的湿刻设备,其特征在于,
所述喷头本体呈圆柱体,所述圆柱体具有所述第一端和第二端;
所述凹槽位于所述第二端的中部,呈线性形状。
5.根据权利要求1所述的湿刻设备,其特征在于,
各个所述喷嘴位于生产线上不同的作业行上;
每一作业行具有一个向该作业行上的各个喷嘴提供所述刻蚀药液的管道;
所述管道与所述导流道贯通连接。
6.根据权利要求5所述的湿刻设备,其特征在于,
所述生产线具有四个作业行,分别是第一作业行、第二作业行、第三作业行和第四作业行。
7.根据权利要求1所述的湿刻设备,其特征在于,还包括:
与所述螺纹部分机械连接,用于改变所述喷头本体的角度的旋动部。
8.根据权利要求7所述的湿刻设备,其特征在于,还包括:
与各个所述旋动部连接,用于向所述旋动部输出角度控制信号的喷射角度调整部件。
9.根据权利要求8所述的湿刻设备,其特征在于,
位于第一作业行的各个所述凹槽与生产线所在直线之间的角度呈45°,
位于第二作业行的各个所述凹槽与生产线所在直线之间的角度呈45°,
且所述第一作业行的所述凹槽与所述第二作业行的同一列上的所述凹槽之间呈90°。
10.根据权利要求8所述的湿刻设备,其特征在于,
位于第一作业行的各个所述凹槽与生产线所在直线之间的角度呈45°,且相邻两个所述凹槽之间呈90°;
位于第二作业行的各个所述凹槽与生产线所在直线之间的角度呈45°,且相邻两个所述凹槽之间呈90°。
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