[实用新型]一种用于多晶硅生产工艺的气体过滤装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产工艺技术领域，更具体地，本实用新型涉及一种用于多晶硅生产工艺的气体过滤装置。

背景技术

我国现阶段多晶硅项目工艺技术85％以上都属于西门子工艺技术，该工艺过程中，有众多系统需要进行气体过滤。具体有：四氯化硅氢化生产三氯氢硅系统、三氯氢硅合成系统、还原尾气干法回收系统等。

目前一般采用的过滤器均为布袋过滤器，而在生产过程中，发现布袋过滤器存在如下几个缺点：

1、布袋过滤器耐高温性能差。尤其是在三氯氢硅合成系统、以及四氯化硅氢化生产三氯氢硅系统中，发现布袋过滤器非常容易出现破损，导致过滤效果严重下降，最终造成后续系统堵塞；

2、布袋过滤器容易破损，就造成气体中的粉尘量大量增加，最终造成产品质量出现大幅下降；

3、布袋过滤器价格昂贵，目前进口的滤材折算到成品滤袋上，每平方米价格达到1000元以上；

4、布袋过滤器的滤材耐腐蚀性能差，同时支撑件在检修过程中容易腐蚀，造成检修困难，且检修成本高。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决上述技术问题之一或至少提供一种有用的商业选择。

为此，本实用新型的一个目的在于提出一种过滤性能好、成本低、检修方便的用于多晶硅生产工艺的气体过滤装置。

根据本实用新型示例的用于多晶硅生产工艺的气体过滤装置，包括从上至下依次连接的上封头、直筒部和下封头，其中，所述过滤装置的上部设有用于排出过滤后的气体的出气口且下部设有用于排出废渣的排渣口，所述直筒部的下部设有用于向所述直筒内导入待过滤气体的进气口，且所述进气口的上方设有过滤部，所述过滤部包括设有通孔的花盘以及设在所述通孔中的陶瓷滤芯。

根据本实用新型示例的用于多晶硅生产工艺的气体过滤装置，由于采用设置有陶瓷滤芯的气体过滤装置，该过滤装置具有耐高温，耐腐蚀的优良特性，而且材质稳定，不会对多晶硅产品质量造成影响；陶瓷滤芯可以根据过滤精度的要求，生产不同精度的滤芯，且陶瓷滤芯成型简单，大规模生产容易，价格低廉。

另外，根据本实用新型上述示例的用于多晶硅生产工艺的气体过滤装置，还可以具有如下附加的技术特征：

所述通孔为多个，所述多个通孔沿所述花盘的径向和轴向均匀分布，每个所述通孔内均设有所述陶瓷滤芯。

所述通孔和所述陶瓷滤芯的个数被设置成能够将所述气体的流速控制在0.01～0.2m/s。

所述陶瓷滤芯通过紧固件固定在所述花盘上，所述紧固件包括固定环和压盖，所述固定环焊接在所述花盘上且所述固定环的内孔与所述通孔相对应，所述压盖扣接在所述陶瓷滤芯的顶端且与所述固定环相连接以将所述陶瓷滤芯固定在所述通孔内。

所述陶瓷滤芯为氧化铝滤芯。

所述氧化铝滤芯的过滤精度为800～1500目。

所述直筒部上设有检修口，所述检修口位于所述过滤部的上方。

所述出气口设在所述上封头的顶端且所述排渣口设在所述下封头的底端。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对示例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本实用新型示例的用于多晶硅生产工艺的气体过滤装置结构示意图；

图2是根据本实用新型示例的用于多晶硅生产工艺的气体过滤装置陶瓷滤芯分布示意图；

图3是根据本实用新型示例的用于多晶硅生产工艺的气体过滤装置陶瓷滤芯紧固件示意图；

图4是根据本实用新型示例的还原尾气干法回收系统示意图；

图5是根据本实用新型示例的多晶硅生产工艺中产生的还原尾气的干法回收方法的流程示意图；

图6是根据本实用新型示例的还原尾气干法回收系统的回收流程示意图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的示例，所述示例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的示例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。