[实用新型]研磨盘修整机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种研磨装置，尤其是一种研磨盘修整机。

背景技术

现今光电、半导体、模具等产业，对于其使用零件（如铣、削加工后的工件）的表面精度要求均日益提高，因此，于工件表面进行研磨抛光的精密微细加工已为目前发展的主流加工技术。

晶片研磨的目的是为了去除切片在加工工序中因切割产生的表面损伤层，故研磨盘的表面质量直接影响到晶片表面的最终质量。在实际晶片加工过程中，研磨盘多由铜盘、锡盘制成，虽具有很大的耐磨性，但无论何种材质产品都会磨损，故研磨盘在使用一定的时间后，必须进行修整，以去除其表面缺陷，达到规定的精度要求。目前与晶片研磨盘配套的研磨修整装置一般是采用带有金刚石修面刀的横向移动连接杆来实现研磨盘修面的，单一的连接杆由于自身重力无法精确修面刀的水平运动，以此修面的研磨盘表面精度不高。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种表面精度高的研磨盘修整机。

按照本实用新型提供的技术方案，所述研磨盘修整机，在机架上设置有滑块底座，在滑块底座上放置有具有内螺纹的滑块，在滑块的内外两侧以及顶部设有滑块盖板，所述滑块滑动安装在由滑块底座与滑块盖板组成的轨道内，在滑块盖板上固定有丝杆连接板，在丝杆连接板内转动安装有丝杆，丝杆与滑块的内螺纹相螺接，在丝杆连接板上设有丝杆传动装置；在滑块的端部安装有修面刀机构。

所述丝杆传动装置包括在丝杆上固定的丝杆同步带轮，在丝杆连接板上固定有步进电机板，在步进电机板上安装有步进电机，在步进电机的输出轴上固定有步进同步带轮，步进同步带轮与丝杆同步带轮同同步带相连。

所述修面刀机构包括在滑块的端部固定的滑块固定板，在滑块固定板内转动安装有调节丝杆，在调节丝杆的上端部固定有手轮，在调节丝杆上螺接有丝杆螺帽，在丝杆螺帽上固定有调节滑块，在调节滑块上固定有修面刀。

在滑块底座的下表面固定有调节杆，调节杆的横截面为半圆形，在机架上设有与调节杆配合的调节槽。

在机架上转动安装有平行调节螺栓，平行调节螺栓的上端螺接在滑块底座内，在平行调节螺栓的下端螺接有平行调节螺母，在机架上固定有百分表，百分表的测量端与滑块底座相抵。

在所述步进同步带轮外侧设有电机防护罩。

在所述滑块盖板的外侧设有防护罩。

本实用新型通过滑块上下表面与滑块底板上表面、滑块上盖板下表面高平面精度的紧密配合滑动，保证了连接于滑块前端的修面刀横向移动的水平精度。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

如图所示：该研磨盘修整机，在机架1上设置有滑块底座2，在滑块底座2上放置有具有内螺纹的滑块3，在滑块3的内外两侧以及顶部设有滑块盖板4，所述滑块3滑动安装在由滑块底座2与滑块盖板4组成的轨道内，在滑块盖板4上固定有丝杆连接板7，在丝杆连接板7内转动安装有丝杆8，丝杆8与滑块3的内螺纹相螺接，在丝杆连接板7上设有丝杆传动装置；在滑块3的端部安装有修面刀机构。

所述丝杆传动装置包括在丝杆8上固定的丝杆同步带轮9，在丝杆连接板7上固定有步进电机板，在步进电机板上安装有步进电机10，在步进电机10的输出轴上固定有步进同步带轮11，步进同步带轮11与丝杆同步带轮9同同步带相连。

所述修面刀机构包括在滑块3的端部固定的滑块固定板12，在滑块固定板12内转动安装有调节丝杆13，在调节丝杆13的上端部固定有手轮14，在调节丝杆13上螺接有丝杆螺帽5，在丝杆螺帽5上固定有调节滑块15，在调节滑块15上固定有修面刀16。

在滑块底座2的下表面固定有调节杆21，调节杆21的横截面为半圆形，在机架1上设有与调节杆21配合的调节槽22。

在机架1上转动安装有平行调节螺栓17，平行调节螺栓17的上端螺接在滑块底座2内，在平行调节螺栓17的下端螺接有平行调节螺母，在机架1上固定有百分表18，百分表18的测量端与滑块底座2相抵。

本实用新型的具体装配关系是：