[实用新型]石墨舟

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种石墨舟。

背景技术

太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜，其作用是提高硅片的太阳能转化率。这个工序就用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中，经过一定的条件产生化学反映，在硅片表面镀上一层膜。

石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体,其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率，现有石墨舟包括：石墨舟片、陶瓷套、陶瓷杆、石墨杆、石墨隔块等石墨配件。其工作原理为：将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上，每个舟片上可放固定数量的硅片，然后，将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的墙体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜。镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。

现有的石墨舟舟片之间间距小，镀成的硅片膜的颜色深浅不一，致使硅片的太阳能转化效率不一，质量受到影响。

实用新型内容

本实用新型的目的是解决上述不足，提供一种能够使硅片的镀膜均匀、太阳能转化效率高的石墨舟片。

实现本实用新型目的技术方案是：一种石墨舟，包括石墨舟片、陶瓷杆、石墨舟工艺钉，石墨舟片的数量为两片或两片以上，所述石墨舟片之间的间距为15mm。

上述石墨舟，所述石墨舟片串联在陶瓷杆上。

上述石墨舟，所述石墨舟片，每片石墨舟片之间均夹有一个陶瓷圈来控制舟片之间的距离。

上述石墨舟，所述陶瓷圈串联在陶瓷杆上。

本实用新型具有积极的效果：（1）结构简单；（2）合理的石墨舟片的间距，使得硅片的镀膜均匀，提高硅片的品质、提高太阳能转化效率高。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中

图1为本实用新型结构示意图。图2为本实用新型的局部放大图。

其中：1石墨舟片，2陶瓷杆，3石墨舟工艺钉，4陶瓷圈。

具体实施方式

实施例（1）

见图1，本实用新型具有石墨舟片1、位于石墨舟上部串联石墨舟片1的陶瓷杆2、固定在石墨舟片上的工艺钉3，石墨舟片1的数量为19片，石墨舟片1之间的间距为15mm，每片石墨舟片1之间均夹有一个陶瓷圈4来控制舟片之间的距离，石墨舟片1串联在陶瓷杆2上。陶瓷圈4串联在陶瓷杆2上，石墨舟片1之间。

以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。