[实用新型]胶片曝光装置有效
申请号: | 201220408290.X | 申请日: | 2012-08-17 |
公开(公告)号: | CN202794848U | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 金尾正康;佐藤敬行;冨塚吉博 | 申请(专利权)人: | 株式会社V技术 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F9/00 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 刘宗杰;钟锦舜 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 胶片 曝光 装置 | ||
1.一种胶片曝光装置,向胶片状的被曝光体上曝光掩模图形,其特征在于,
包括:胶片运送部,沿一个方向运送上述被曝光体;
光掩模,被配置在接近上述被曝光体的曝光面上;
掩模保持部,将上述光掩模保持在上述被曝光体的曝光面上;以及
光照射部,向上述光掩模的掩模图形上照射光;
上述光掩模具有沿上述被曝光体的运送方向配置的第1掩模图形和第2掩模图形;
上述胶片运送部具有与上述第1掩模图形和上述第2掩模图形的位置对应而配置的一对支承辊,用上述一对支承辊来支持曝光上述第1掩模图形和上述第2掩模图形的曝光面的相反一侧的面。
2.如权利要求1所述的胶片曝光装置,其特征在于,在上述一对支承辊间的空间配置拍摄上述被曝光体上所设的对准标记的对准摄像机。
3.如权利要求2所述的胶片曝光装置,其特征在于,上述光掩模在上述第1掩模图形和上述第2掩模图形之间具有与上述对准标记对应的对准开口部。
4.如权利要求1~3中任一项所述的胶片曝光装置,其特征在于,上述掩模保持部在上述第1掩模图形和上述第2掩模图形之间保持上述光掩模。
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