[实用新型]水环式石英炉台真空泵有效
申请号: | 201220415438.2 | 申请日: | 2012-08-21 |
公开(公告)号: | CN202789389U | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 罗松波;张启达;邓寅 | 申请(专利权)人: | 江西中昱新材料科技有限公司 |
主分类号: | F04B37/14 | 分类号: | F04B37/14 |
代理公司: | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人: | 谢德珍 |
地址: | 334000 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 水环式 石英 炉台 真空泵 | ||
【权利要求书】:
1.水环式石英炉台真空泵,包括泵体,所述泵体与供水系统相连,所述供水系统包括水箱,所述水箱的出水口通过管道与泵体的入水口相连,所述水箱的入水口与气水分离器相连,所述气水分离器通过气水排出管与泵体的出水口相连,其特征在于,所述水箱由其内部的溢流板分隔成供水区和排水区,所述排水区的侧面设有排气管和排水管,所述排水区的底部安装有循环进水管,所述供水区的顶部设有进气管和进水口。
2.根据权利要求1所述的水环式石英炉台真空泵,其特征在于,所述排水管和循环进水管上均设有自动阀。
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