[实用新型]晶块排列的模板有效
申请号: | 201220415953.0 | 申请日: | 2012-08-22 |
公开(公告)号: | CN202839555U | 公开(公告)日: | 2013-03-27 |
发明(设计)人: | 刘宝成 | 申请(专利权)人: | 河南恒昌电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 461500 河南省许昌市长葛市黄河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 排列 模板 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种工具,特别是一种半导体生产过程中的模板,是晶块排列的模板。
背景技术
在致冷件生产的过程中,要将多个半导体晶粒排列在瓷板上,所使用的工具是模板,模板上有晶粒放置孔,将许多晶粒放置在模板上晃动,晶粒就达到放置孔中,而后将多余的晶粒清扫掉,现有技术中,模板厚度是1毫米,清扫掉晶粒时常常将放置好的晶粒也去掉,需要重新安置,使用不便。
发明内容
本实用新型的目的就是针对上述缺点,提供一种不会清扫掉晶粒,进一步提高生产效率的晶块排列的模板。
本实用新型的技术方案是这样实现的:晶块排列的模板,包括模板本体,模板本体具有晶粒放置孔,其特征是:所述的模板本体的厚度是2—4毫米。
最好的技术方案是,所述的模板本体的厚度是3毫米。
本实用新型的有益效果是:这样的晶块排列的模板不会清扫掉放置好的晶粒、也不会留下没有放置的晶粒,一次完成摆放,提高了生产效率。
附图说明
图1是本实用新型晶块排列的模板的结构示意图。
其中: 1、模板本体 2、晶粒放置孔。
D——模板本体的厚度
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步的描述。
如图1所示,晶块排列的模板,包括模板本体1,模板本体1具有晶粒放置孔2,其特征是:所述的模板本体的厚度D是2—4毫米。
最好的技术方案是,所述的模板本体的厚度D是3毫米。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造